GB/T 14142-1993
硅外延层晶体完整性检查方法
Test method for sheet resistance of silicon epitaxial, diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array
GBT14142-1993, GB14142-1993
2018-04
- 标准号
- GB/T 14142-1993
- 别名
- GBT14142-1993
GB14142-1993 - 发布
- 1993年
- 采用标准
- ASTM F80-85 REF
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 14142-2017
- 当前最新
- GB/T 14142-2017
- 本标准规定了用化学腐蚀显示，并用金相显微镜检验硅外延层晶体缺陷的方法 本标准适用于硅外延层中堆垛层错和位错密度测量。硅外延层厚度应大于2μm测量范围为010000cm2。
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