GB/T 14142-1993
硅外延层晶体完整性检查方法

Test method for sheet resistance of silicon epitaxial, diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array


标准号
GB/T 14142-1993
发布日期
1993-02-06
实施日期
1993-10-01
废止日期
中国标准分类号
H26
国际标准分类号
29.040.30
发布单位
CN-GB
代替标准
GB/T 14142-2017
适用范围
本标准规定了用化学腐蚀显示,并用金相显微镜检验硅外延层晶体缺陷的方法 本标准适用于硅外延层中堆垛层错和位错密度测量。硅外延层厚度应大于2μm测量范围为010000cm2

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