GB/T 14143-1993
300-900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法

GB/T 14143-1993 发布历史

本标准规定了用红外吸收法测定厚度为300～900μm的硅片间隙氧含量的方法。 本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω·cm的硅片间隙氧含量的测量。测量范围为3×10atcm至间隙氧在硅中的最大固溶度。

GB/T 14143-1993由国家质检总局 CN-GB 发布于 1993-02-06，并于 1993-10-01 实施。

GB/T 14143-1993 在中国标准分类中归属于: H26 金属无损检验方法。

GB/T 14143-1993的历代版本如下：

• 1993年02月06日 GB/T 14143-1993 300-900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法

GB/T 14143-1993 300-900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法 于 2006-07-18 变更为 GB/T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法。

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标准号

GB/T 14143-1993

发布日期

1993年02月06日

实施日期

1993年10月01日

废止日期

无

中国标准分类号

H26

国际标准分类号

29.040.30

发布单位

CN-GB

代替标准

GB/T 1557-2006

适用范围

本标准规定了用红外吸收法测定厚度为300～900μm的硅片间隙氧含量的方法。 本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω·cm的硅片间隙氧含量的测量。测量范围为3×10¹⁶atcm^-3至间隙氧在硅中的最大固溶度。

GB/T 14143-1993系列标准

GB/T 14143-1993 中可能用到的仪器设备