GB/T 14143-1993
300-900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法

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标准号
GB/T 14143-1993
发布日期
1993年02月06日
实施日期
1993年10月01日
废止日期
2006-11-01
中国标准分类号
H26
国际标准分类号
29.040.30
发布单位
国家质检总局
代替标准
GB/T 1557-2006
适用范围
本标准规定了用红外吸收法测定厚度为300～900μm的硅片间隙氧含量的方法。 本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω·cm的硅片间隙氧含量的测量。测量范围为3×1016atcm-3至间隙氧在硅中的最大固溶度。

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