ISO 16700:2016
微电子束分析.扫描电子显微镜.校准图像放大指南
Microbeam analysis - Scanning electron microscopy - Guidelines for calibrating image magnification
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- 标准号
- ISO 16700:2016
- 发布
- 2016年
- 中文版
- GB/T 27788-2020 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 16700:2016
- 引用标准
- ISO 5725-1:1994 ISO GUIDE 30:2015 ISO GUIDE 34:2009 ISO GUIDE 35:2006 ISO/IEC 17025:2005 ISO/IEC GUIDE 98-3:2008
- 本国际标准规定了使用适当的参考材料校准扫描电子显微镜（SEM）生成的图像放大倍率的方法。 该方法仅限于由校准参考材料中结构的可用尺寸范围确定的放大倍数。 本国际标准不适用于专用的临界尺寸测量SEM。
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