ISO 16700:2016
微电子束分析.扫描电子显微镜.校准图像放大指南
Microbeam analysis - Scanning electron microscopy - Guidelines for calibrating image magnification
ISO 16700:2016 发布历史
ISO 16700:2016由国际标准化组织 IX-ISO 发布于 2016-08。
ISO 16700:2016 在中国标准分类中归属于: N32 放大镜与显微镜，在国际标准分类中归属于: 37.020 光学设备。
本标准有等同采用的 中文版 GB/T 27788-2020 微束分析 扫描电镜 图像放大倍率校准导则
ISO 16700:2016 微电子束分析.扫描电子显微镜.校准图像放大指南的最新版本是哪一版？
最新版本是 ISO 16700:2016 。
ISO 16700:2016 发布之时，引用了标准
- ISO 5725-1:1994 测试方法与结果的准确度(正确度与精密度) 第1部分:基本原理与定义
- ISO GUIDE 30:2015 基准材料. 选择术语和定义
- ISO GUIDE 34:2009 参考材料生产商权限的一般要求
- ISO GUIDE 35:2006 参考资料.认证一般原则与统计原则
- ISO/IEC 17025:2005 检测和校准实验室能力的一般要求
- ISO/IEC GUIDE 98-3:2008 测量的不确定性.第3部分:测量不确定性的表达指南(GUM-1995)
ISO 16700:2016的历代版本如下：
- 2016年 ISO 16700:2016 微电子束分析.扫描电子显微镜.校准图像放大指南
- 2004年 ISO 16700:2004 微电子束分析.扫描电子显微镜.校准图像放大指南
本国际标准规定了使用适当的参考材料校准扫描电子显微镜（SEM）生成的图像放大倍率的方法。 该方法仅限于由校准参考材料中结构的可用尺寸范围确定的放大倍数。 本国际标准不适用于专用的临界尺寸测量SEM。
采用 ISO 16700 的发行版本有：
- BS ISO 16700:2004 微电子束分析.扫描电子显微镜.图像放大校准指南
- BS ISO 16700:2016 微束分析 扫描电子显微镜 校准图像放大率的指南
- KS D ISO 16700-2013(2018) 微束分析－扫描电子显微镜－图像放大率校准指南
- KS D ISO 16700-2023 微束分析扫描电子显微镜图像放大率校准指南
- KS D ISO 16700:2013 微电子束分析.扫描电子显微镜.校准图像放大指南
- 标准号
- ISO 16700:2016
- 发布
- 2016年
- 中文版
- GB/T 27788-2020 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 16700:2016
- 引用标准
- ISO 5725-1:1994 ISO GUIDE 30:2015 ISO GUIDE 34:2009 ISO GUIDE 35:2006 ISO/IEC 17025:2005 ISO/IEC GUIDE 98-3:2008
ISO 16700:2016相似标准
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