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半导体 膜

本专题涉及半导体 膜的标准有9条。

国际标准分类中，半导体 膜涉及到半导体材料、金属材料试验、半导体分立器件。

在中国标准分类中，半导体 膜涉及到金属物理性能试验方法、敏感元器件及传感器、元素半导体材料、电子技术专用材料。

美国材料与试验协会，关于半导体 膜的标准

• ASTM F673-90(1996)e1 用非接触涡流仪测定半导体膜片的电阻率的标准试验方法
• ASTM F1894-98 定量分析硅化钨半导体加工膜组分和厚度的标准试验方法
• ASTM F1894-98(2003) 定量分析硅化钨半导体加工膜组分和厚度的标准试验方法
• ASTM F1894-98(2011) 定量分析硅化钨半导体加工膜组分和厚度的标准试验方法

国家质检总局，关于半导体 膜的标准

• GB/T 6616-2023 半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法

行业标准-机械，关于半导体 膜的标准

• JB/T 11623-2013 平面厚膜半导体气敏元件

英国标准学会，关于半导体 膜的标准

• BS IEC 62951-7:2019 半导体器件 柔性和可拉伸半导体器件 表征柔性有机半导体薄膜封装阻隔性能的测试方法

CZ-CSN，关于半导体 膜的标准

• CSN 35 8971 Cast.1-1984 半导体设备．掩膜基件和掩膜 名称和定义
• CSN 35 8971-1984 半导体器件．掩膜基件和掩膜．特征参数的测量方法

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