微电子材料

本专题涉及微电子材料的标准有3条。

国际标准分类中，微电子材料涉及到半导体分立器件、电子电信设备用机电元件。

在中国标准分类中，微电子材料涉及到半导体分立器件综合。

法国标准化协会，关于微电子材料的标准

• NF C96-050-10-2012 半导体器件.微电子机械器件.第10部分:MEMES材料微极压缩测试

德国标准化学会，关于微电子材料的标准

• DIN EN 62047-10-2012 半导体器件.微电子机械器件.第10部分:MEMES材料微极压缩试验(IEC 62047-10-2011).德文版本 EN 62047-10-2011

英国标准学会，关于微电子材料的标准

• BS EN 62047-10-2011 半导体装置.微电子机械装置.MEMS材料的微型柱压缩试验

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