本专题涉及化学气相沉积仪的标准有24条。
国际标准分类中,化学气相沉积仪涉及到冶金设备、半导体材料、光纤通信、玻璃、珠宝、电子电信设备用机电元件、土质、土壤学、表面处理和镀涂。
在中国标准分类中,化学气相沉积仪涉及到炼焦、烧结设备、、石英玻璃、其他非金属矿、其他生产设备、土壤环境质量分析方法、材料防护。
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