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离子 质谱 检测 法
本专题涉及离子 质谱 检测 法的标准有6条。
国际标准分类中，离子 质谱 检测 法涉及到半导体材料、半导体分立器件、空气质量。
在中国标准分类中，离子 质谱 检测 法涉及到半金属与半导体材料综合、、电子技术专用材料。
国家质检总局，关于离子 质谱 检测 法的标准
- GB/T 24580-2009 重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法
- GB/T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法
- GB/T 32650-2016 电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素
中国团体标准，关于离子 质谱 检测 法的标准
- T/CASAS 010-2019 氮化镓材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法
- T/CASAS 009-2019 半绝缘碳化硅材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法
山东省地方标准，关于离子 质谱 检测 法的标准
- DB37/T 4078-2020 环境空气 挥发性有机物连续监测 气相色谱-氢火焰离子化检测器/质谱检测器联用法
