Vier-Sonden-Methode

Für die Vier-Sonden-Methode gibt es insgesamt 20 relevante Standards.

In der internationalen Standardklassifizierung umfasst Vier-Sonden-Methode die folgenden Kategorien: Prüfung von Metallmaterialien, Nichteisenmetalle, Verbundverstärkte Materialien, Längen- und Winkelmessungen, Diskrete Halbleitergeräte, Umfangreiche Testbedingungen und -verfahren, Halbleitermaterial, Land-und Forstwirtschaft.

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, Vier-Sonden-Methode

GB/T 1552-1995 Testverfahren zur Messung des spezifischen Widerstands von einkristallinem Silizium und Germanium mit einem kollinearen Vier-Sonden-Array
GB/T 14141-2009 Testverfahren für den Schichtwiderstand epitaktischer, diffundierter und ionenimplantierter Siliziumschichten unter Verwendung eines kollinearen Vier-Sonden-Arrays

RU-GOST R, Vier-Sonden-Methode

GOST 24392-1980 Monokristallines Silizium und Germanium. Messung des elektrischen Widerstands nach der Vier-Sonden-Methode

Group Standards of the People's Republic of China, Vier-Sonden-Methode

T/CSTM 00252-2020 Testmethode für den elektrischen Widerstand von Kohlefasern durch Vier-Sonden-Methode
T/CASAS 019-2021 Testmethode für den spezifischen Widerstand von Mikro- und Nanometall-Sinterkörpern: Vier-Sonden-Methode
T/ZGIA 001-2019 Graphen-Testmethode zur Bestimmung der Pulverleitfähigkeit, Vier-Sonden-Methode

Hebei Provincial Standard of the People's Republic of China, Vier-Sonden-Methode

DB13/T 5255-2020 Bestimmung des Quadratwiderstands von leitfähiger Graphentinte mit der Vier-Sonden-Methode
DB13/T 5026.3-2019 Methode zur Bestimmung der physikalischen Eigenschaften von leitfähiger Graphenpaste Teil 3: Vier-Sonden-Methode zur Bestimmung des Elektrodenwiderstands von Paste

Jiangsu Provincial Standard of the People's Republic of China, Vier-Sonden-Methode

DB32/T 4027-2021 Dynamische Vier-Sonden-Methode zur Bestimmung der elektrischen Leitfähigkeit von Graphenpulver
DB32/T 4378-2022 Vier-Sonden-Methode zur zerstörungsfreien Prüfung des Schichtwiderstands von dünnen Filmen im Nanometer- und Submikronbereich auf der Substratoberfläche

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会, Vier-Sonden-Methode

GB/T 39978-2021 Nanotechnologie – Spezifischer Widerstand von Kohlenstoffnanoröhrenpulver – Vier-Sonden-Methode
GB/T 1551-2021 Testverfahren zur Messung des spezifischen Widerstands von einkristallinem Silizium – Inline-Vierpunktsonden- und Gleichstrom-Zweipunktsondenverfahren

American Society for Testing and Materials (ASTM), Vier-Sonden-Methode

ASTM F390-98(2003) Standardtestmethode für den Schichtwiderstand dünner Metallfilme mit einem kollinearen Vier-Sonden-Array
ASTM F390-11 Standardtestmethode für den Schichtwiderstand dünner Metallfilme mit einem kollinearen Vier-Sonden-Array

British Standards Institution (BSI), Vier-Sonden-Methode

PD IEC TS 62607-6-1:2020 Nanofertigung. Wichtige Kontrollmerkmale. Material auf Graphenbasis. Volumenwiderstand: Vier-Sonden-Methode

Korean Agency for Technology and Standards (KATS), Vier-Sonden-Methode

KS C IEC TS 62607-6-1:2022 Nanofertigung – Wichtige Kontrollmerkmale – Teil 6-1: Material auf Graphenbasis – Volumenwiderstand: Vier-Sonden-Methode
KS D 0260-1999 PRÜFMETHODEN DES WIDERSTANDS EINKRISTALLER SILIZIUMWAFER MIT VIERPUNKTSONDE

International Electrotechnical Commission (IEC), Vier-Sonden-Methode

IEC TS 62607-6-1:2020 Nanofertigung – Wichtige Kontrollmerkmale – Teil 6-1: Material auf Graphenbasis – Volumenwiderstand: Vier-Sonden-Methode

KR-KS, Vier-Sonden-Methode

KS C IEC TS 62607-6-1-2022 Nanofertigung – Wichtige Kontrollmerkmale – Teil 6-1: Material auf Graphenbasis – Volumenwiderstand: Vier-Sonden-Methode

Japanese Industrial Standards Committee (JISC), Vier-Sonden-Methode

JIS H 0602:1995 Prüfverfahren für den spezifischen Widerstand von Siliziumkristallen und Siliziumwafern mit einer Vierpunktsonde