이온 스퍼터링 장비

모두 139항목의 이온 스퍼터링 장비와 관련된 표준이 있다.

국제 분류에서 이온 스퍼터링 장비와 관련된 분류는 다음과 같습니다: 진공 기술, 유체 시스템 및 일반 부품, 인체 건강 장비, 분석 화학, 반도체 소재, 방사선방호, 방사선 측정, 비파괴 검사, 원자력공학, 어휘, 의료 장비, 비철금속, 펌프, 광학 및 광학 측정, 소방, 전기, 자기, 전기 및 자기 측정, 쓰레기, 산업안전, 산업위생, 종합 전자 부품.

Professional Standard - Electron, 이온 스퍼터링 장비

SJ 1781-1981 스퍼터 이온 펌프 - 테스트 방법
SJ 1779-1981 일반 다이오드 스퍼터링 이온 펌프 매개변수 시리즈
SJ 1780-1981 일반 다이오드 스퍼터링 이온 펌프. 기술 조건

Professional Standard - Machinery, 이온 스퍼터링 장비

JB/T 4081-2011 진공 기술 스퍼터 이온 펌프
JB/T 4082-1991 스퍼터링 이온 펌프 기술 조건
JB/T 2965-1992 스퍼터 이온펌프 성능 시험 방법
JB/T 4081-1991 스퍼터링 이온 펌프 유형 및 기본 매개변수

German Institute for Standardization, 이온 스퍼터링 장비

DIN 28429:2003 진공 기술 스퍼터 이온 펌프 수용 사양
DIN IEC/TS 62743:2013 방사선 방호 장비 이온화 방사선의 펄스장용 전자 계수 방사선 선량계(IEC/TS 62743-2012)
DIN 6801-1:2019-09 양성자 및 이온 방사선 프로브 검출기 선량 측정 절차 1부: 이온화 챔버
DIN IEC 61336:1999-05 원자력 계측용 전리방사선을 활용한 두께 측정 시스템의 정의 및 시험 방법
DIN EN 62467-1:2016-09 의료 전기 장비의 근접 치료에 사용되는 선량 측정 장비 1부: 웰형 이온화 챔버 기반 장비

Group Standards of the People's Republic of China, 이온 스퍼터링 장비

T/QGCML 018-2020 음이온 방사체

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, 이온 스퍼터링 장비

GB/T 25755-2010 진공 기술 스퍼터 이온 펌프 성능 매개변수 측정
GB/T 36244-2018 유도 결합 플라즈마 원자 방출 분광계
GB/T 29787-2013 방사선 방호 장비 환경의 광자 및 중성자 방사선을 측정하는 이동 장비
GB/T 14318-2008 방사선 방호 장비 중성자 주변 선량당량(속도) 측정기
GB/T 29788-2013 방사선 방호 장비 휴대용 표면 오염 광자 측정 및 모니터
GB 12951-2009 이온화된 연기 화재 감지기를 위한 아메리슘 241α 방사성 소스
GB/T 13163.3-2014 방사선 방호 장비 라돈 및 라돈 딸 측정 장비 제3부: 라돈 딸 측정 장비에 대한 특별 요구사항
GB 16365-1996 이온화된 연기 화재 감지기에 대한 방사선 건강 보호 표준
GB/T 13163.1-2009 방사선 방호 장비 라돈 및 라돈 자손 측정 장비 1부: 일반 원칙

RU-GOST R, 이온 스퍼터링 장비

GOST 5.1807-1973 GIN-0.5-1M 이온 스퍼터링 펌프 제품 품질 요구 사항 인증
GOST 14337-1978 전리 방사선 측정 장비 용어 및 정의
GOST 5.413-1970 BP-150 구동 입상 냉각 다이오드형 이온 스퍼터 펌프 NMDO-01-01(NORD-100) 인증된 제품 품질 요구 사항
GOST 14336-1987 이온화 방사선을 소스로 활용하는 기기 용어 및 정의

American Society for Testing and Materials (ASTM), 이온 스퍼터링 장비

ASTM E1162-87(2001) 2차 이온 질량 분석기(SIMS)에서 스퍼터 깊이 단면 데이터 보고
ASTM E1162-87(1996) 2차 이온 질량 분석기(SIMS)에서 스퍼터 깊이 단면 데이터 보고
ASTM E1438-91(2001) 2차 이온 질량 분석기(SIMS)를 사용하여 스퍼터링 깊이 형성 계면의 폭 측정
ASTM E1438-91(1996) 2차 이온 질량 분석기(SIMS)를 사용하여 스퍼터링 깊이 형성 계면의 폭 측정
ASTM E1162-11(2019) 2차 이온 질량 분석기(SIMS)에서 스퍼터 깊이 프로파일 데이터를 보고하기 위한 표준 관행
ASTM E1162-06 2차 이온 질량 분석기(SIMS)에서 스퍼터 깊이 단면 데이터를 보고하기 위한 표준 관행
ASTM E1832-08 DC 플라즈마 원자 방출 분광계를 설명하고 지정하기 위한 표준 관행
ASTM E1832-08(2017) DC 플라즈마 원자 방출 분광계를 설명하고 지정하기 위한 표준 관행
ASTM E684-95(2000) 고체 표면의 스퍼터링 깊이 프로파일링을 위한 대구경 이온빔의 전류 밀도를 대략적으로 결정하기 위한 표준 사례
ASTM E684-04 고체 표면의 스퍼터링 깊이 프로파일링을 위한 대구경 이온빔의 전류 밀도를 대략적으로 결정하기 위한 표준 사례
ASTM E1479-16 유도 결합 플라즈마 원자 방출 분광계를 설명하고 지정하기 위한 표준 관행
ASTM F1467-99 반도체 장치 및 미세 회로에 대한 이온화 방사선 효과를 테스트할 때 X선 테스터(대략 10keV 방사선 양자와 동일) 사용에 대한 표준 가이드
ASTM F1467-99(2005) 반도체 장치 및 미세 회로에 대한 이온화 방사선 효과를 테스트할 때 X선 테스터(대략 10keV 방사선 양자와 동일) 사용에 대한 표준 가이드
ASTM F1467-99(2005)e1 마이크로 전자 장치에 대한 이온화 방사선의 영향을 테스트할 때 X선 테스터(대략 10keV 방사선 양자와 동일) 사용에 대한 표준 가이드

British Standards Institution (BSI), 이온 스퍼터링 장비

PD IEC/TS 62743:2012 방사선 방호 장비 이온화 방사선의 펄스 장을 위한 전자 계수 선량계
PD IEC TS 63050:2019 방사선 방호 계측 전리 방사선 펄스장 선량계
BS ISO 17109:2015 표면 화학 분석 깊이 프로파일링 X선 광전자 분광법, Auger 전자 분광법, 단일 및 다층 필름을 사용하는 2차 이온 질량 분석법을 사용하여 스퍼터링 깊이 프로파일링에서 스퍼터링 속도를 결정하는 방법.
BS ISO 17109:2022 표면 화학 분석 깊이 프로파일링 X선 광전자 분광법, Auger 전자 분광법 및 단일 및 다층 필름의 2차 이온 질량 분석법을 사용하여 스퍼터링 깊이 분석에서 스퍼터링 속도를 결정하는 방법...
21/30433862 DC BS ISO 17109 AMD1 표면 화학 분석의 깊이 프로파일링 X선 광전자 분광법, Auger 전자 분광법 및 단일 이온 질량 분석법을 사용하는 스퍼터링 깊이 분석에서 스퍼터링 속도 결정 방법...
BS EN 62534:2015 방사선 방호 장비 방사성 물질의 중성자 검출을 위한 고감도 휴대용 장비
BS EN 62533:2016 방사선 방호 장비 방사성 물질의 광자 검출을 위한 고감도 휴대용 장비
BS IEC 62533:2010 방사선 보호에 사용되는 장비 방사성 물질의 광자 검출을 위한 고감도 휴대용 장비
BS IEC 60692:1999 전리방사선을 활용한 원자력 계측기의 밀도계 정의 및 테스트 방법
BS IEC 62534:2010 방사선 보호에 사용되는 장비 방사성 물질의 중성자 검출을 위한 고감도 휴대용 장비
BS EN 61005:2017 방사선 방호 장비 중성자 환경 선량당량(율) 측정기
BS IEC 61336:1996 원자력 계측용 전리방사선을 활용한 두께 측정 시스템의 정의 및 시험 방법
BS ISO 22415:2019 표면 화학 분석 2차 이온 질량 분석 분석 유기 물질의 아르곤 클러스터 스퍼터링 깊이 프로파일링의 수율 결정 방법
BS EN IEC 62327:2019 방사선 방호 장비 방사성 핵종을 탐지 및 식별하고 광자 방사선으로부터 환경 선량당량률을 추정하는 데 사용되는 휴대용 장비입니다.
BS IEC 60692:2000 핵 계측 방법 전리 방사선을 사용하는 농도계 정의 및 테스트 방법

International Electrotechnical Commission (IEC), 이온 스퍼터링 장비

IEC TS 62743:2012 방사선 보호 장비전리 방사선의 펄스장을 위한 전자 계수 방사선 선량계
IEC 62438:2010 방사선 방호 장비 환경 내 광자 및 중성자 방사선 측정을 위한 모바일 장비
IEC 61151:1992 전리 방사선 검출기를 사용한 핵 계측용 증폭기 및 전치 증폭기 테스트 절차
IEC TS 63050:2019 방사선 방호 장비 이온화 방사선의 펄스 장을 위한 선량계
IEC 60181:1964 전리방사선 관련 전기측정기기 색인
IEC 60405:1972 인체에 전리 방사선 보호를 제공하기 위한 핵 장비의 구조적 요구 사항
IEC 60692:1999 전리방사선을 활용한 핵기기의 농도계 정의 및 시험방법
IEC 61005:2014 방사선 방호 장비 중성자 환경 선량당량(비율) 측정기
IEC 45B/706/DTS:2011 IEC/TS 62743(초판): 방사선 보호 탐지 장비, 이온화 방사선 펄스장용 전자 계수 선량계
IEC 62363:2008 방사선 보호 장비, 휴대용 광자 오염 측정기 및 모니터
IEC TR 61948-3:2005 핵의학 기기의 일상 검사 3부: 양전자 방출 단층촬영

CZ-CSN, 이온 스퍼터링 장비

CSN 35 6550-1984 전리 방사선 측정 장비. 용어

IEC - International Electrotechnical Commission, 이온 스퍼터링 장비

TS 62743-2012 방사선 방호 장비 전리 방사선 펄스 필드 전자 계수 선량계 (버전 1.0)

Japanese Industrial Standards Committee (JISC), 이온 스퍼터링 장비

JIS Z 4614:1993 전리방사선을 이용한 측정기기용 방사선원 용기
JIS H 1632-3:2014 티타늄 ICP 플라즈마 방출 분광계 3부: 붕소 측정
JIS H 1632-1:2014 티타늄 ICP 플라즈마 방출 분광계 1부: 일반 요구 사항 및 시료 분해

International Organization for Standardization (ISO), 이온 스퍼터링 장비

ISO 17109:2015 표면 화학 분석 깊이 프로파일링 X선 광전자 분광법, Auger 전자 분광법, 단일 및 다층 필름을 사용하는 2차 이온 질량 분석법을 사용하여 스퍼터링 깊이 프로파일링에서 스퍼터링 속도를 결정하는 방법.
ISO 12239:2010 산란광, 투과광 또는 이온화를 활용하는 화재 경보기
ISO 17109:2022 표면 화학 분석 깊이 프로파일링 X선 광전자 분광법, Auger 전자 분광법 및 단일 및 다층 필름을 사용하는 2차 이온 질량 분석법에서 스퍼터링 속도를 결정하는 방법.
ISO 22415:2019 표면 화학 분석, 2차 이온 질량 분석법, 유기 물질의 아르곤 클러스터 스퍼터링 깊이 프로파일을 통한 수율량 결정 방법.

Professional Standard - Agriculture, 이온 스퍼터링 장비

JJG(教委) 015-1996 유도 결합 플라즈마 원자 방출 분광계의 교정 절차

Korean Agency for Technology and Standards (KATS), 이온 스퍼터링 장비

KS A 4614-2013 전리방사선을 이용한 측정기기용 표면용기
KS C IEC 60476-2009(2019) 핵 장비 전리 방사선원을 활용하는 전기 측정 시스템 및 장비에 대한 일반 원리
KS A 4614-2006(2011) 용기 표면의 전리 방사선을 이용한 측정기
KS A 4614-1985 용기 표면의 전리 방사선을 이용한 측정기
KS C IEC 62534-2012(2017) 방사선 방호 장비 - 방사성 물질의 중성자 검출을 위한 고감도 휴대용 장비
KS C IEC 62534-2012(2022) 방사선 방호 장비 - 방사성 물질의 중성자 검출을 위한 고감도 휴대용 장비
KS C IEC 62467-1:2021 의료 전기 장비 근접 치료용 선량 측정 장비 1부: 이온화 챔버 기반 장비
KS C IEC 62467-1-2012(2017) 의료 전기 장비 근접 치료용 선량 측정 장비 1부: 유정 이온화 챔버 기반 장비
KS C IEC 60692:2009 핵 장비, 이온화 방사선 농도계, 정의 및 테스트 방법
KS C IEC 60692-2009(2019) 원자력 장비 전리 방사선 밀도계 정의 및 테스트 방법
KS A IEC 61005-2014(2019) 방사선 방호 기기 - 중성자 환경 선량 등가(비율) 기기
KS C IEC 61275-2016(2021) 방사선 방호 장비 - 환경 내 개별 방사성 핵종 측정 - 게르마늄 검출기를 사용한 현장 광자 분광계 시스템
KS C IEC 61323-2005(2015) 방사선 방호 장비 - 중성자 방사선 - 직접 판독 개인 선량당량 및/또는 선량당량률 모니터
KS C IEC TR 61948-3:2020 핵의학 기기의 일상적인 테스트 3부: 양전자 방출 단층촬영 스캐너
KS C IEC TR 61948-3:2021 핵의학 기기의 일상 검사 3부: 양전자 방출 단층촬영
KS C IEC TR 61948-3:2017 핵의학 기기의 일상적인 테스트 3부: 양전자 방출 단층촬영 스캐너

SE-SIS, 이온 스퍼터링 장비

SIS SS IEC 731:1988 전자 의료 장비. 방사선 치료용 전리 방사선 챔버 선량계
SIS SS 02 12 13-1989 건물 측정. 악기 및 보조 장비. 단거리 반사

Professional Standard - Medicine, 이온 스퍼터링 장비

YY/T 0894-2013 의료 전기 장비 근접 치료용 선량계 웰형 이온화 챔버 기반 선량계

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会, 이온 스퍼터링 장비

GB/T 14318-2019 방사선 방호 장비 중성자 주위 선량당량(율) 측정기
GB/T 41064-2021 표면 화학 분석 깊이 프로파일링 단층 및 다층 필름을 사용하는 X선 광전자 분광법, 오제 전자 분광법 및 2차 이온 질량 분석법에서 깊이 프로파일링 스퍼터링 속도를 결정하는 방법

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）, 이온 스퍼터링 장비

HD 326-1976 방사성원을 활용한 전자측정기기
EN 62363:2011 방사선 방호 장비 휴대용 광자 오염 측정기 및 모니터
EN 62533:2016 방사선 방호 기기 - 방사성 물질의 광자 검출을 위한 고감도 휴대용 기기
EN 62534:2015 방사선 방호 기기 - 방사성 물질의 중성자 검출을 위한 고감도 휴대용 기기
EN 62467-1:2015 의료 전기 장비의 근접 치료에 사용되는 선량 측정 장비 1부: 웰형 이온화 챔버 기반 장비

RO-ASRO, 이온 스퍼터링 장비

STAS 9989-1974 핵 장비. 소스 악기를 병합합니다. 전리 방사선으로부터 개인을 보호하기 위한 구성 사양
STAS SR CEI 1018-1995 방사선 보호 목적을 위한 장거리 테스트, 광자 선량 및 선량률 휴대용 장비

Association Francaise de Normalisation, 이온 스퍼터링 장비

NF EN 61577-3:2015 방사선 방호 장비 라돈 및 라돈 딸 측정 장비 제3부: 라돈 딸 측정 장비에 대한 특정 요구사항
NF C19-534*NF EN 62534:2016 방사선 방호 기기 - 방사성 물질의 중성자 검출을 위한 고감도 휴대용 기기
NF C19-533*NF EN 62533:2016 방사선 방호 기기 - 방사성 물질의 광자 검출을 위한 고감도 휴대용 기기
NF EN 62534:2016 방사선 방호 장비 - 방사성 물질의 중성자 검출을 위한 고감도 휴대용 장비
NF EN 62533:2016 방사선 방호 장비 - 방사성 물질의 광자 검출을 위한 고감도 휴대용 장비
NF C74-204/A1:2006 의료 전기 장비 X선 진단 영상에 사용하기 위한 이온화 챔버 및/또는 반도체 검출기를 갖춘 선량계
NF C19-107*NF EN 62363:2011 방사선 보호 장비, 휴대용 광자 오염 측정기 및 탐지기.
NF C74-267-1*NF EN 62467-1:2015 의료 전기 장비의 근접 치료에 사용되는 선량 측정 장비 1부: 웰형 이온화 챔버 기반 장비
NF EN 62467-1:2015 근접 치료에 사용되는 의료 전기 장비 선량 측정 장비 1부: 이온화 챔버용으로 설계된 장비
NF C19-101*NF EN 61005:2017 방사선 방호 장비 - 중성자 환경 선량당량(율) 측정기
NF EN 61577-2:2017 방사선 방호 장비 라돈 가스 및 라돈 자손 측정 장비 2부: 222Rn 및 220Rn 측정 장비에 대한 특정 요구 사항

IN-BIS, 이온 스퍼터링 장비

IS 11600-1985 전리방사선 관련 전기측정기기 색인

Danish Standards Foundation, 이온 스퍼터링 장비

DS/EN 62363:2011 방사선 방호 장비 휴대용 광자 오염 측정기 및 모니터
DS/EN 61005:2005 방사선 방호 장비 - 중성자 환경 선량당량(율) 측정기
DS/IEC/TR 61948-3:2006 핵의학 기기의 일상적인 테스트 3부: 양전자 방출 단층촬영 스캐너

Indonesia Standards, 이온 스퍼터링 장비

SNI IEC 62467-1:2012 의료 전기 장비 - 근접 치료용 선량 측정 장비 - 파트 1: 웰형 이온화 챔버용 장비
SNI IEC/TR 61948-3:2012 핵의학 기기 - 정기 테스트 - 3부: 양전자 방출 단층촬영 스캐너

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会, 이온 스퍼터링 장비

GB/T 34142-2017 방사선 방호 장비 방사성 물질의 광자 검출을 위한 고감도 휴대용 장비
GB/T 34140-2017 방사선 방호 장비 방사성 물질의 중성자 검출을 위한 고감도 휴대용 장비
GB/T 12951-2009 이온화된 연기 화재 감지기를 위한 아메리슘 241α 방사성 소스

KR-KS, 이온 스퍼터링 장비

KS C IEC 62467-1-2021 의료 전기 장비 근접 치료용 선량 측정 장비 1부: 이온화 챔버 기반 장비
KS C IEC 61275-2016 방사선 방호 장비 - 환경 내 이산 방사성 핵종 측정 - 게르마늄 검출기를 사용한 현장 광자 분광 시스템
KS C IEC TR 61948-3-2020 핵의학 기기의 일상적인 테스트 3부: 양전자 방출 단층촬영 스캐너
KS C IEC TR 61948-3-2021 핵의학 기기의 일상 검사 3부: 양전자 방출 단층촬영

ES-UNE, 이온 스퍼터링 장비

UNE-EN 62534:2015 방사선 방호 장비 방사성 물질의 중성자 검출을 위한 고감도 휴대용 장비
UNE-EN 62533:2016 방사선 방호 장비 방사성 물질의 광자 검출을 위한 고감도 휴대용 장비
UNE-EN 62363:2011 방사선 방호 장비 휴대용 광자 오염 측정기 및 모니터
UNE-EN 62467-1:2015 의료 전기 장비의 근접 치료에 사용되는 선량 측정 장비 1부: 웰형 이온화 챔버 기반 장비

AT-OVE/ON, 이온 스퍼터링 장비

OVE IEC TS 63050:2021 방사선 방호 장비 이온화 방사선 펄스 필드 선량계(IEC TS 63050:2019)(독일어 버전)

Occupational Health Standard of the People's Republic of China, 이온 스퍼터링 장비

GBZ 122-2006 이온화된 연기 화재 감지기에 대한 방사선 방호 표준

未注明发布机构, 이온 스퍼터링 장비

BS IEC 61336:1996(1999) 원자력 계측 - 전리 방사선을 활용한 두께 측정 시스템 - 정의 및 테스트 방법

HU-MSZT, 이온 스퍼터링 장비

MSZ 21329-1955 실험실 유리 제품, 반투명 마개가 있는 원뿔형 분리 깔대기
MNOSZ 21327-1955 실험실 유리 제품, 반투명 마개가 있는 배 모양 분리 깔대기

AENOR, 이온 스퍼터링 장비

UNE-EN 61005:2009 방사선 방호 장비 - 중성자 환경 선량당량(율) 측정기

Lithuanian Standards Office , 이온 스퍼터링 장비

LST EN 62363-2012 방사선 방호 장비 휴대용 광자 오염 측정기 및 모니터(IEC 62363:2008, 수정)