이온 스퍼터링 장비

모두 85항목의 이온 스퍼터링 장비와 관련된 표준이 있다.

국제 분류에서 이온 스퍼터링 장비와 관련된 분류는 다음과 같습니다: 진공 기술, 유체 시스템 및 일반 부품, 인체 건강 장비, 분석 화학, 반도체 소재, 비철금속 제품, 광학 및 광학 측정, 전자관, 전자 디스플레이 장치, 비철금속, 방사선 측정, 방사선방호, 공기질, 펌프, 전기, 자기, 전기 및 자기 측정, 길이 및 각도 측정, 의료 장비, 비파괴 검사, 항공우주 제조용 재료, 환경 테스트, 계측 및 측정 합성, 어휘, 종합 전자 부품.

Professional Standard - Electron, 이온 스퍼터링 장비

SJ 1781-1981 스퍼터 이온 펌프 - 테스트 방법
SJ 1779-1981 일반 다이오드 스퍼터링 이온 펌프 매개변수 시리즈
SJ 1780-1981 일반 다이오드 스퍼터링 이온 펌프. 기술 조건
SJ/Z 9013-1987 전자관의 전리 방사선 측정

Professional Standard - Machinery, 이온 스퍼터링 장비

JB/T 4081-2011 진공 기술 스퍼터 이온 펌프
JB/T 4082-1991 스퍼터링 이온 펌프 기술 조건
JB/T 2965-1992 스퍼터 이온펌프 성능 시험 방법
JB/T 4081-1991 스퍼터링 이온 펌프 유형 및 기본 매개변수

German Institute for Standardization, 이온 스퍼터링 장비

DIN 28429:2003 진공 기술 스퍼터 이온 펌프 수용 사양
DIN IEC/TS 62743:2013 방사선 방호 장비 이온화 방사선의 펄스장용 전자 계수 방사선 선량계(IEC/TS 62743-2012)
DIN IEC 60562:1980-05 전자관에서 입사되는 전리 방사선 측정
DIN IEC 60562:1980 전자관에서 입사되는 전리 방사선 측정

Group Standards of the People's Republic of China, 이온 스퍼터링 장비

T/QGCML 018-2020 음이온 방사체
T/CAQI 202-2021 공기 이온 측정기
T/CI 286-2024 저온 플라즈마 상처 치료 장치
T/CAIA YQ006-2018 이온 크로마토그래프 성능 시험 방법

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, 이온 스퍼터링 장비

GB/T 25755-2010 진공 기술 스퍼터 이온 펌프 성능 매개변수 측정
GB/T 36244-2018 유도 결합 플라즈마 원자 방출 분광계
GB/T 29658-2013 전자박막용 고순도 알루미늄 및 알루미늄 합금 스퍼터링 타겟
GB/T 31227-2014 원자력현미경을 이용한 스퍼터링된 막의 표면거칠기 측정방법
GB/T 18809-2002 공기 이온 측정기의 일반 사양
GB/T 29787-2013 방사선 방호 장비 환경의 광자 및 중성자 방사선을 측정하는 이동 장비

RU-GOST R, 이온 스퍼터링 장비

GOST 5.1807-1973 GIN-0.5-1M 이온 스퍼터링 펌프 제품 품질 요구 사항 인증
GOST 5.413-1970 BP-150 구동 입상 냉각 다이오드형 이온 스퍼터 펌프 NMDO-01-01(NORD-100) 인증된 제품 품질 요구 사항
GOST 14337-1978 전리 방사선 측정 장비 용어 및 정의

American Society for Testing and Materials (ASTM), 이온 스퍼터링 장비

ASTM E1162-87(2001) 2차 이온 질량 분석기(SIMS)에서 스퍼터 깊이 단면 데이터 보고
ASTM E1162-87(1996) 2차 이온 질량 분석기(SIMS)에서 스퍼터 깊이 단면 데이터 보고
ASTM E1438-91(2001) 2차 이온 질량 분석기(SIMS)를 사용하여 스퍼터링 깊이 형성 계면의 폭 측정
ASTM E1438-91(1996) 2차 이온 질량 분석기(SIMS)를 사용하여 스퍼터링 깊이 형성 계면의 폭 측정
ASTM E1162-11(2019) 2차 이온 질량 분석기(SIMS)에서 스퍼터 깊이 프로파일 데이터를 보고하기 위한 표준 관행
ASTM E1162-06 2차 이온 질량 분석기(SIMS)에서 스퍼터 깊이 단면 데이터를 보고하기 위한 표준 관행
ASTM F1238-95(2003) 마이크로전자 장치용 내화 규화물 스퍼터링 전극
ASTM F1709-97 전자박막용 고순도 티타늄 스퍼터링 타겟의 표준 규격
ASTM F1709-97(2016) 전자박막용 고순도 티타늄 스퍼터링 타겟의 표준 규격
ASTM F1709-97(2002) 전자박막용 고순도 티타늄 스퍼터링 타겟 표준사양
ASTM F1709-97(2008) 전자박막용 고순도 티타늄 스퍼터링 타겟 표준사양
ASTM E1832-08 DC 플라즈마 원자 방출 분광계를 설명하고 지정하기 위한 표준 관행
ASTM E1832-08(2017) DC 플라즈마 원자 방출 분광계를 설명하고 지정하기 위한 표준 관행
ASTM E684-95(2000) 고체 표면의 스퍼터링 깊이 프로파일링을 위한 대구경 이온빔의 전류 밀도를 대략적으로 결정하기 위한 표준 사례
ASTM E684-04 고체 표면의 스퍼터링 깊이 프로파일링을 위한 대구경 이온빔의 전류 밀도를 대략적으로 결정하기 위한 표준 사례
ASTM F1238-95(1999) 마이크로 전자 장비용 내화 규화물 스퍼터링 전극의 표준 사양
ASTM F1238-95(2011) 마이크로 전자 장비용 내화 규화물 스퍼터링 전극의 표준 사양
ASTM E1479-16 유도 결합 플라즈마 원자 방출 분광계를 설명하고 지정하기 위한 표준 관행
ASTM F1467-99(2005)e1 마이크로 전자 장치에 대한 이온화 방사선의 영향을 테스트할 때 X선 테스터(대략 10keV 방사선 양자와 동일) 사용에 대한 표준 가이드

Professional Standard - Non-ferrous Metal, 이온 스퍼터링 장비

YS/T 819-2012 전자박막용 고순도 구리 스퍼터링 타겟
YS/T 893-2013 전자박막용 고순도 티타늄 스퍼터링 타겟
YS/T 1025-2015 전자박막용 고순도 텅스텐 및 텅스텐 합금 스퍼터링 타겟

British Standards Institution (BSI), 이온 스퍼터링 장비

BS ISO 17109:2015 표면 화학 분석 깊이 프로파일링 X선 광전자 분광법, Auger 전자 분광법, 단일 및 다층 필름을 사용하는 2차 이온 질량 분석법을 사용하여 스퍼터링 깊이 프로파일링에서 스퍼터링 속도를 결정하는 방법.
BS ISO 17109:2022 표면 화학 분석 깊이 프로파일링 X선 광전자 분광법, Auger 전자 분광법 및 단일 및 다층 필름의 2차 이온 질량 분석법을 사용하여 스퍼터링 깊이 분석에서 스퍼터링 속도를 결정하는 방법...
21/30433862 DC BS ISO 17109 AMD1 표면 화학 분석의 깊이 프로파일링 X선 광전자 분광법, Auger 전자 분광법 및 단일 이온 질량 분석법을 사용하는 스퍼터링 깊이 분석에서 스퍼터링 속도 결정 방법...
PD IEC/TS 62743:2012 방사선 방호 장비 이온화 방사선의 펄스 장을 위한 전자 계수 선량계
PD IEC TS 63050:2019 방사선 방호 계측 전리 방사선 펄스장 선량계
BS ISO 22415:2019 표면 화학 분석 2차 이온 질량 분석 분석 유기 물질의 아르곤 클러스터 스퍼터링 깊이 프로파일링의 수율 결정 방법

International Organization for Standardization (ISO), 이온 스퍼터링 장비

ISO 17109:2015 표면 화학 분석 깊이 프로파일링 X선 광전자 분광법, Auger 전자 분광법, 단일 및 다층 필름을 사용하는 2차 이온 질량 분석법을 사용하여 스퍼터링 깊이 프로파일링에서 스퍼터링 속도를 결정하는 방법.
ISO 17109:2022 표면 화학 분석 깊이 프로파일링 X선 광전자 분광법, Auger 전자 분광법 및 단일 및 다층 필름을 사용하는 2차 이온 질량 분석법에서 스퍼터링 속도를 결정하는 방법.
ISO 22415:2019 표면 화학 분석, 2차 이온 질량 분석법, 유기 물질의 아르곤 클러스터 스퍼터링 깊이 프로파일을 통한 수율량 결정 방법.

Professional Standard - Agriculture, 이온 스퍼터링 장비

JJG(教委) 015-1996 유도 결합 플라즈마 원자 방출 분광계의 교정 절차
JJG(教委) 020-1996 이온 크로마토그래프의 교정 절차

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会, 이온 스퍼터링 장비

GB/T 36240-2018 이온 크로마토그래프
GB/T 41064-2021 표면 화학 분석 깊이 프로파일링 단층 및 다층 필름을 사용하는 X선 광전자 분광법, 오제 전자 분광법 및 2차 이온 질량 분석법에서 깊이 프로파일링 스퍼터링 속도를 결정하는 방법
GB/T 18809-2019 공기 이온 측정기의 일반 사양

SE-SIS, 이온 스퍼터링 장비

SIS SS IEC 731:1988 전자 의료 장비. 방사선 치료용 전리 방사선 챔버 선량계
SIS SS IEC 577:1981 핵실험 장비. 전리방사선 두께 측정기

Korean Agency for Technology and Standards (KATS), 이온 스퍼터링 장비

KS A 4042-1976(1997) 전리실 방사선 측정기
KS A 4042-1982 전리실 방사선 측정기
KS A 4042-2001 전리실형 방사선 측정기

International Electrotechnical Commission (IEC), 이온 스퍼터링 장비

IEC TS 62743:2012 방사선 보호 장비전리 방사선의 펄스장을 위한 전자 계수 방사선 선량계
IEC TS 63050:2019 방사선 방호 장비 이온화 방사선의 펄스 장을 위한 선량계
IEC 62438:2010 방사선 방호 장비 환경 내 광자 및 중성자 방사선 측정을 위한 모바일 장비
IEC 45B/706/DTS:2011 IEC/TS 62743(초판): 방사선 보호 탐지 장비, 이온화 방사선 펄스장용 전자 계수 선량계

IEC - International Electrotechnical Commission, 이온 스퍼터링 장비

TS 62743-2012 방사선 방호 장비 전리 방사선 펄스 필드 전자 계수 선량계 (버전 1.0)

Japanese Industrial Standards Committee (JISC), 이온 스퍼터링 장비

JIS H 1632-3:2014 티타늄 ICP 플라즈마 방출 분광계 3부: 붕소 측정
JIS Z 4614:1993 전리방사선을 이용한 측정기기용 방사선원 용기
JIS H 1632-1:2014 티타늄 ICP 플라즈마 방출 분광계 1부: 일반 요구 사항 및 시료 분해

CZ-CSN, 이온 스퍼터링 장비

CSN 35 6550-1984 전리 방사선 측정 장비. 용어

National Metrological Verification Regulations of the People's Republic of China, 이온 스퍼터링 장비

JJG 823-1993 이온 크로마토그래프의 교정 절차
JJG 823-2014 이온 크로마토그래프의 교정 절차
JJG(地质) 1008-1990 이온 크로마토그래프의 교정 절차
JJG 155-2020 염화물 이온 확산 계수 측정기

Society of Automotive Engineers (SAE), 이온 스퍼터링 장비

SAE AMS5793A-1992 플라즈마 스프레이 파우더 95Ni 5Al
SAE AMS5793B-2006 플라즈마 스프레이 파우더 95Ni 5Al

National Metrological Technical Specifications of the People's Republic of China, 이온 스퍼터링 장비

JJF 1715-2018 이온 크로마토그래피 유형 평가 개요

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会, 이온 스퍼터링 장비

GB/T 32999-2016 표면 화학 분석 깊이 프로파일링 기계적 프로파일로미터 그리드 복제 방법을 사용한 스퍼터링 속도 측정

YU-JUS, 이온 스퍼터링 장비

JUS N.R1.199-1988 전자관의 전리 방사선 측정

AENOR, 이온 스퍼터링 장비

UNE 20627:1979 전자관의 전리 방사선 측정