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소형 이온 스퍼터링 장비

모두 5항목의 소형 이온 스퍼터링 장비와 관련된 표준이 있다.

국제 분류에서 소형 이온 스퍼터링 장비와 관련된 분류는 다음과 같습니다: 유체 시스템 및 일반 부품, 진공 기술, 펌프.

Professional Standard - Machinery, 소형 이온 스퍼터링 장비

• JB/T 4081-1991 스퍼터링 이온 펌프 유형 및 기본 매개변수

Professional Standard - Electron, 소형 이온 스퍼터링 장비

• SJ 1779-1981 일반 다이오드 스퍼터링 이온 펌프 매개변수 시리즈
• SJ 1780-1981 일반 다이오드 스퍼터링 이온 펌프. 기술 조건

RU-GOST R, 소형 이온 스퍼터링 장비

• GOST 5.1807-1973 GIN-0.5-1M 이온 스퍼터링 펌프 제품 품질 요구 사항 인증
• GOST 5.413-1970 BP-150 구동 입상 냉각 다이오드형 이온 스퍼터 펌프 NMDO-01-01(NORD-100) 인증된 제품 품질 요구 사항

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