71.100.20 工业气体 标准查询与下载

GB/T 21287-2007 电子工业用气体.三氟化氮

本标准规定了瓶装电子工业用气体——三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。 本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。 分子式：NF。 分子量：71.001 9（按2001年国际相对原子量）

Gases for electronic industry.Nitrogen trifluoride

GB/T 5829-2006 氪气

本标准规定了氪气的要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于深冷法从空气中提取的气态氪。主要用于电真空、电光源工业，也用于激光器、医疗卫生等领域。 氪气是一种无色、无味、不活泼的气体。 分子式：Kr。 相对分子质量：83.798（按2001年国际相对原子质量）。

Krypton

GB/T 5828-2006 氙气

本标准规定了氙气的要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于深冷法从空气中提取的气（液）态氙。主要用于电光源工业，也用于医疗、电真空、激光等领域。 氙是一种无色、无味、不活泼的气体。 分子式:Xe。 相对分子质量：131.29（按2001年国际相对原子质量）。

Xenon

GB/T 4842-2006 氩

本标准规定了纯氩、高纯氩的要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于深冷法从空气、合成氨尾气中提取的气态和液态纯氩，以及经净化方法得到的纯氩和高纯氩。它们主要用于金属冶炼与焊接、半导体制造、电光源、标准样品的制备、科学研究等行业。

Argon

GB 14194-2006 永久气体气瓶充装规定

本标准规定了永久气体气瓶充装的基本原则和安全技术要求。 本标准适用于工业用永久气体气瓶的充装，也适用于低温液化永久气体气化后的气瓶充装。 其他特殊用途的永久气体气瓶的充装，如医用氧亦可参照使用。 本标准不适用于汽车用压缩天然气气瓶的充装。

Rules for filling of permanent gas cylinders

GB/T 14194-2006 永久气体气瓶充装规定

Rules for filling of permanent gas cylinders

GB/T 3634.1-2006 氢气.第1部分;工业氢

本部分规定了工业氢的要求、试验方法、包装标志、贮运及安全要求。 本部分适用于化学裂解、电解、吸附、膜分离以及氢化物等方法制取的瓶装、集装格装和管道输送的氢气。它主要应用于石油、食品、精细化工、玻璃和人造宝石的制造、金属冶炼、切割以及焊接等行业。 分子式：H 相对分子质量：2.01588（按2001年国际相对原子质量表）

Hydrogen.Part 1: Industrial hydrogen

GB/T 6285-2003 气体中微量氧的测定 电化学法

本标准规定了采用电化学法测定气体中微量氧的方法原理以及对仪器的要求、仪器校准、测定及结果处理。 本标准适用于不与电化学反应器——化学电池发生化学反应且不干扰测定的气体。

Determination of trace oxygen in gases--Eletrochemical method

GB/T 18994-2003 电子工业用气体 高纯氯

本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验规则1,11t乏包装、标志、运输及贮存和安全要求。 本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。 分子式：Cl2。 相对分子质量：70．906(按1999年国际相对原子质量)。 101．3 kPa下的沸点：一34．O5℃。 101．3 kPa下的熔点：一l01．0。C。 101．3 kPa及20℃下气体的密度：2．980 k9／m3。

Gases for electronic industry--High purity chlorine

GB/T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫

本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。 本标准适用于硫与氟反应生成并经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子元器件的外延气或稀释载气等。

Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride

GB/T 10607-2001 空气分离设备 产品型号编制方法

本标准规定了空气分离设备产品型号的编制方法。 本标准适用于空气分离设备、气体（氧、氮、氖、氦、氢等）液化设备及主要配套机组。

Methods for compiling product models of air separation plants

GB 18299-2001 机动车用液化石油气钢瓶集成阀

本标准规定了机动车用液化石油气钢瓶集成阀的基本结构、技术要求、试验规程、检验规则和标志等。 本标准适用于机动车用液化石油气钢瓶集成阀。

Automotive LPG steel cylinder multivalve

GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼

本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。 本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三氯化硼，主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。

Gases for electronic industry--Boron Trichloride

GB/T 17873-1999 纯氖

本标准规定了纯氖产品的要求、试验方法以及包装、标志、贮存和运输等。 本标准适用于空分法制取的氖，它主要用于电光源、红外遥感及科学研究等。

Pure Neon

GB 8983-1998 航空呼吸用氧

本标准规定了航空呼吸用氧产品的压力和特性、试验方法以及包装、标志等。本标准适用于由深冷法分离空气而制取的气态氧和液态氧，主要用于航空飞行人员的呼吸。 分子式：O2 相对分子质量：31.999（按1995年国际相对原子质量）

Breathing oxygen supplies for aircraft

GB 8982-1998 医用氧

本标准规定了医用氧产品的技术要求、试验方法以及包装、标志等。本标准适用于由低温法分离空气而制取的气态氧和液态氧，主要用于呼吸和医疗目的。 分子式：O2 相对分子质量：31.999（按1995年国际相对原子质量）

Oxygen supplies for medicine

GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢

本标准规定了电子工业用氢的技术要求、试验方法和包装、标志、安全等。 本标准适用于以工业氢为原料经纯化制取的钢瓶装氢气。氢主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。 分子式：H 相对分子质量：2.016（按1991年国际相对原子质量）

Gases for electronic industry--Hydrogen

GB/T 8984.3-1997 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 第3部分;气体中总烃的测定 火焰离子化法

本标准规定了气体中总烃含量的火焰离子化测定方法。 本标准适用于氢、氧、氮、氦、氖、氩、氪和氙等气体中总烃含量的测定。氧气中检测限为0.5×10（V/V），其余气体中检测限为0.1×10（V/V）。

Determination of carbon monoxide, carbon dioxide and hydrocarbon in the gases--Part 3: Determination of total hydrocarbon in gases--Flame ionization method

GB/T 8984.2-1997 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 第2部分;气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物总含量的测定 气相色谱法

本标准规定了气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的总含量的气相色谱测定方法。 本标准适用于氢、氮、氦、氖、氩、氪和氙气中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物总含量的测定。检测限为0.1×10（V/V）。

Determination of carbon monoxide,carbon dioxide and hydrocarbon in the gases--Part 2:Determination of total content of carbon monoxide,carbon dioxide and hydrocarbon in gases--Gas chromatographic method

GB/T 8984.1-1997 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 第1部分;气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定 气相色谱法

本标准规定了气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的气相色谱测定方法。 本标准适用于氢、氧、氮、氦、氖、氪和氙等气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定。检测限为0.1×10（V/V）。

Determination of carbon monoxide,carbon dioxide and hydrocarbon in the gases--Part 1: Determination of carbon monoxide、carbon dioxide and mathane in the gases--Gas chromatographic method