碳化硅外延层载流子浓度测定_汞探针电容-电压法 是非强制性国家标准,您可以免费下载预览页
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KLA-Tencor Candela CS920是一个晶圆表面缺陷检查系统,可以在一个单一检测平台上实现表面探测和光致发光(PL)技术,用于检测微蚀坑、萝卜状蚀坑、彗星状蚀线、三角形蚀坑和层错等表面缺陷。透过参数不同的通道之间的交叉相关(镭射波长、表面角度、散射光幅度),实现巨集微缺陷检测和自动分类。 汞探针电容电压(Hg-CV)测量法用于评估掺杂浓度(从原级平台到顶部直径是17点)。...
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