此应用是基于对红外光 在层状结构中产生的光干涉效应的分析,可用于 亚微米量级至毫米量级的厚度分析。 用反射或透射实验分析层厚度。 专用的分析软件,用于分析复杂的层状结构。 可选薄膜扫描成像附件,可测量直径至12”的 硅晶片。...
FSM413红外激光测厚仪产品简介:1、利红外干涉测量技术,非接触式测量。2、适用于所有可让红外线通过的材料硅、蓝宝石、砷化镓、磷化铟、碳化硅、玻璃、石 英、聚合物…FSM413红外激光测厚仪规格:1、测量方式:红外干涉(非接触式)。2、样本尺寸:50、75、100、200、300 mm, 也可以订做客户需要的产品尺寸。3、测量厚度:15—780μm (单探头);3 mm (双探头总厚度测量)。...
作为一项规则,晶圆是底面下从初始厚度350 μ m 到尽可能少的 100 μ m,根据不同的应用。 4 英寸晶圆制成的砷化镓 (GaAs) 或氮化镓 (GaN),是高频应用的材料,它大约两个小时为砷化镓,并且更长时间的氮化镓。 要达到的目标厚度,晶圆必须多次测量。直到zui近,这个过程的测量都是接触式测量的。 这种方法的工作原理如下,在它被粘到一个载体之前要测量晶圆的厚度。...
(b)三叠层超薄砷化镓太阳能电池横截面SEM图(c)由标准传输线模型(TLM)测量得到n型金属接触总电阻与金属板间距之间的函数关系图,插图为TLM测量中金属板几何示意图(d)由标准传输线模型(TLM)测量得到p型金属接触总电阻与金属板间距之间的函数关系图,插图是p型掺杂砷化镓电池中金属板的光学图像图3.铍扩散程度的定量评估(a-c)分别为所制成的三叠层砷化镓太阳能电池顶部、中部和底部的SIMS深度信息图...
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