GB/T 28276-2012
硅基MEMS制造技术.体硅溶片工艺规范
Silicon-based MEMS fabrication technology.Specification for dissolved wafer process
GBT28276-2012, GB28276-2012
GB/T 28276-2012 中，可能用到以下仪器
- 标准号
- GB/T 28276-2012
- 别名
- GBT28276-2012
GB28276-2012 - 发布
- 2012年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 28276-2012
- 引用标准
- GB 50073-2001 GB/T 19022-2003 GB/T 26111-2010
- 本标准规定了采用体硅深片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。 本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。
GB/T 28276-2012相似标准
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