GB/T 32189-2015
氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
Atomic Force Microscopy Examination of Surface Roughness of Gallium Nitride Single Crystal Substrate
GBT32189-2015, GB32189-2015
GB/T 32189-2015 发布历史
GB/T 32189-2015由国家质检总局 CN-GB 发布于 2016-11-01，并于 2016-11-01 实施。
GB/T 32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法的最新版本是哪一版？
最新版本是 GB/T 32189-2015 。
GB/T 32189-2015 发布之时，引用了标准
- GB/T 14264 半导体材料术语
- GB/T 27760 利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法
- GB/T 3505 产品几何技术规范(GPS).表面结构.轮廓法.术语、定义及表面结构参数
- JJF 1351 扫描探针显微镜校准规范
GB/T 32189-2015的历代版本如下：
- 2016年 GB/T 32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
本标准规定了用原子力显微镜测试所化久单晶衬底表面粗糙度的方法。 本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的表面粗糙度小于10 nm 的氮化匀单唱衬底。 其他具有相似表面结构的半导体单品衬底应用本标准提供的方法进行测试前,需经测试双方协商达成一致。
- 标准号
- GB/T 32189-2015
- 别名
- GBT32189-2015
GB32189-2015 - 发布
- 2016年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 32189-2015
- 引用标准
- GB/T 14264 GB/T 27760 GB/T 3505 JJF 1351