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日本电子发布双束电镜JIB-4700F

2017.1.05

　　分析测试百科网讯近日，日本电子株式会社发布JIB-4700F双束系统，一部新开发的FIB-SEM仪器。

JIB-4700F

　　产品研发背景

　　新材料复杂结构的进步发展对FIB-SEM仪器分辨率，精度和通量提出了更高的特殊要求。对此，JEOL开发JIB-4700F多波束系统，一种新的处理和观测系统用于形态学观察、元素和晶体的各种标本的分析。

　　JIB-4700F的特征是混合锥形物镜，GentleBeam™（GB模式）和一个在提供低加速电压1 kV，1.6 nm分辨率保证的透镜检测系统。使用“透镜肖特基发射电子枪”可以产生电子束的最大探针电流为300 NA，这使得JIB-4700F允许高分辨率的观测和快速分析。对于聚焦离子束柱，由90 nA的最大探针电流决定的高电流密度的Ga离子束可以用于标本的快速离子铣削和加工。

　　同时，通过FIB快速断面处理，可以利用能量色散X射线光谱仪（EDS）和电子背散射衍射（EBSD）来进行高分辨率的扫描电镜观察和快速分析。此外，在横截面处理自动捕获SEM截面图像的三维分析功能也是JIB-4700F的标准功能。这种多波束系统将提供给公共和私人研发网站和半导体制造商。

　　主要特点

　　高分辨率扫描电镜观察

　　由磁性/静电混合圆锥物镜，GB模式和镜头检测器保证在低加速电压为1千伏下到达1.6nm的分辨率。

　　快速分析

　　通过透镜肖特基发射电子枪和孔径角控制镜头的相结合可以分析大探针电流来保持高分辨率。

　　快速加工

　　高功率Ga离子束柱可快速处理试样。

　　增强探测系统

　　同步检测系统包括新近发展起来的镜头探测器，允许4个探测器实时观测图像。

　　多种可选附件

　　JIB-4700F包括多种可选附件EDS、EBSD兼容，低温输送系统、冷却和空气隔离传输系统等。

　　三维观测/分析

　　与高分辨率SEM和适当的可选的分析单元（S）的组合的图像和分析数据的三维可视化是可行的。

　　多级联动功能

　　随着大气拾取系统（可选）和阶段联动功能，透射电镜（TEM）标本可以轻松收回。

　　图片叠加系统

　　在大气提取系统中把光学显微镜图像覆盖在FIB图像上是的更容易识别FIB处理点。

　　主要技术参数：

SEM
加速电压	0.1至30伏
图像分辨率（最优WD）	1.2 nm（15 kV，GB模式）1.6 nm（1KV，GB模式）
放大倍数	X20-X 1000000
探头电流	1 pA至300 nA
样品台	6轴测角台电脑X：50mm，Y：50mm，Z：1.5-40mm，R：360°，T：5至70°，FZ：- 3 + 3mm
FIB
加速电压	1 to 30 kV
图像分辨率	4.0nm（30kV）
放大倍数	X50- 1000000（X50 -90倍可用于加速电压小于15 kV）
探针电流	1pA到90nA（13个步骤）
铣削加工形状	矩形，线，点，圆，位图