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扫描电镜与电子探针的区别

2019.12.14

电子探针仪,学名应该是扫描隧道显微镜(scanning tunnel microscopy,STM),它的工作原理是用一个针尖在离样品表面极近的位置慢慢划过,样品和针尖上加有恒定电压,随着针尖和样品起伏不平的表面原子距离的改变,二者间的电流会有变化,记录这个电流的变化进行处理后,可以得到表面的形貌像,这是其中的一个工作方式,还有针尖位置不变,电压变化的工作方式等。另外STM发展的非常蓬勃,衍生出很多其他类似的分支电镜,如AFM等。

扫描电镜和电子探针的根本区别在于电子束流:电子探针的束流(指打在样品表面的电流)要比扫描电镜大几个数量级.由此造成:电子探针的空间分辨率差,二次电子和背散射电子分辨率差.如果要求不高, 电子探针可以当作扫描来用。个人建议不要用来发好文章啊!其图像质量会造成较大麻烦。


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