SJ 3244.4-1989
砷化镓和磷化铟材料载流子浓度剖面分布的测试方法.电化学电压电容法
Methods of measurement for profile distribution of carrier concentration of Gallium arsenide and Indium phosphide materials--Electrochemical voltage capacitance method
2010-02
- 标准号
- SJ 3244.4-1989
- 发布
- 1989年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ 3244.4-1989
- 1.1 本标准规定了电化学电压电容法测量的原理、仪器和电解液要求、测量步骤、测量结果的计算。 1.2 本标准适用于载流子浓度10^(14)～10(19)cm^(-3)的n型和P型砷化镓、磷化铟，也适用于铝镓砷和镓铟砷磷材料载流子浓度剖面分布的测量。
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