SJ 2757-1987
重掺半导体载流子浓度的红外反射测试方法
Method of measurement by infra-red reflection for charge carrier concentraiton of heavily doped semiconductors
- 标准号
- SJ 2757-1987
- 发布
- 1987年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ 2757-1987
- 适用范围
- 本标准适用于测量重掺半导体体材料载流子浓度，也适用于测量外延层、埋层和扩散层的载流子浓度。
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