SJ 2757-1987
重掺半导体载流子浓度的红外反射测试方法

Method of measurement by infra-red reflection for charge carrier concentraiton of heavily doped semiconductors


标准号
SJ 2757-1987
发布日期
1987-02-10
实施日期
1987-07-01
废止日期
中国标准分类号
L90
国际标准分类号
31-030
发布单位
CN-SJ
适用范围
本标准适用于测量重掺半导体体材料载流子浓度,也适用于测量外延层、埋层和扩散层的载流子浓度。

SJ 2757-1987 中可能用到的仪器设备





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