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硅片性能参数 1、型号（P型和N型，P型多晶硅是掺B，N型多晶硅是掺P） 2、电阻率 3、少数载流子寿命 4、硅片边长 5、对角线长度 6、倒角 7、厚度 8、总厚度变化...
风向风速自记仪的传感器属于非热式微型测风传感器，结构简单，能实现风速风向的单片测量，采用电容作为测量信号，功耗低，温漂小、响应快。介绍了传感器的结构和工作原理，分析了传感器输出电容、可动极板的弯曲形变以及可动极板2个方向的固有频率，得出了可动极板在厚度方向上比在高度方向较易弯曲形变的结论。从理论上计算了 传感器输出电容和风速风向的变化关系，为传感器设计了一套基于MEMS体硅工艺的制作流程。...
如图3所示，实测膜层厚度约47.4 nm，同时铝、氧原子比也非常接近于2:3。通过平面内的多点检测，Layerprobe可以给出膜厚-成分梯度的变化。图4是使用Layerprobe对硅片上轨纯铝镀层进行膜厚均匀度检测的结果。图 3：结果页面。理论谱图与实验谱图高度契合，同时提供了K因子预测值与实际值的相对误差图 4：铝膜的厚度梯度分布。...
液相电镜中液层厚度的测量和控制液相（扫描）透射电镜 (LP-(S)TEM) 已成为实时监测液体中纳米材料过程的重要技术。但液体和电镜真空之间存在的压力差通常会导致氮化硅 (SiNx) 膜窗口的弯曲，从而使得液层厚度在视窗内不均匀分布。这引起的液层局部区域中理论空间分辨率变化和扩散限制会使解释 LP-(S)TEM 结果变得非常困难。...
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