ASTM E986-97由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 1997-10-10。
ASTM E986-97在国际标准分类中归属于: 31.120 电子显示器件。
ASTM E986-97 扫描电子显微镜光束尺寸表征的标准实践的最新版本是哪一版?
最新版本是 ASTM E986-04(2024) 。
1.1 这种做法提供了一种可重复的方法来表征扫描电子显微镜(SEM)的性能。该性能是 SEM-操作员-材料组合的衡量标准,并通过测量多种材料的有效“表观边缘锐度”进行量化,建议使用其中两种材料。这种做法需要 SEM 能够对建议的材料执行线扫描跟踪(例如,偏转波形生成)。这种做法有效的 SEM 放大倍数范围为 1000 至 200 000 X。
1.2 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题(如果有)。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。
扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm;放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调;并且景深大,视野大,成像立体效果好。...
扫描电子显微镜是利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品 扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。...
扫描电子显微镜(SEM) 是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品, 通过光束与物质间的相互作用, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm;放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调;并且景深大, 视野大, 成像立体效果好。 ...
当该光束沿色谱柱向下传播时,线圈将作为透镜进行调节,这些透镜会聚焦光束并使光束在真空室中的样品上形成光栅。 当电子束扫描样品时,二次电子从样品中发射出来。 腔室内的探测器收集这些电子以产生样品图像。 与光学显微镜不同,SEM不受可见光衍射极限的限制。这使研究人员能够以数十万倍的倍率成像。 该技术还保持了极好的景深,使用户可以清楚地分辨出样品的表面特征。 ...
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