ISO 11952:2019
表面化学分析.扫描探针显微镜.用SPM测定几何量:测量系统的校准
Surface chemical analysis — Scanning-probe microscopy — Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems
- 标准号
- ISO 11952:2019
- 发布
- 2019年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 11952:2019
- 引用标准
- ISO 11039 ISO 18115-2 ISO/IEC Guide 98-3
- This document specifies methods for characterizing and calibrating the scan axes of scanning-probe microscopes (SPMs) for measuring geometric quantities at the highest level. It is...
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