工作场所空气.离子色谱分析法测定无机酸.第2部分:除氢氟酸之外的挥发酸(盐酸,氢溴酸及硝酸) 是非强制性国家标准,您可以免费下载预览页
实验中,将含有盐酸(HCl)、氢溴酸(HBr)、甲酸(CH2O2)、乙酸(CH3COOH)和硝酸(HNO3), 或含有痕量有机胺(MB)的微量水溶液喷入FOUP内部,然后用氮气不间断冲洗FOUP来模拟清洗过程。喷入FOUP内的酸类物质质量在0.15微克到1微克之间。氢氟酸(HF)则是将渗透管短暂放入FOUP中约2分钟。...
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