GB/T 43493.3-2023
半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第3部分：缺陷的光致发光检测方法

Non-destructive testing and identification criteria for defects in silicon carbide homoepitaxial wafers for power devices of semiconductor devices Part 3: Photoluminescence detection method of defects

GBT43493.3-2023, GB43493.3-2023


哪些标准引用了GB/T 43493.3-2023

 

找不到引用GB/T 43493.3-2023 的标准

标准号
GB/T 43493.3-2023
别名
GBT43493.3-2023
GB43493.3-2023
发布
2023年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 43493.3-2023
 
 

GB/T 43493.3-2023相似标准

GB/T 43493.2-2023 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第2部分：缺陷的光学检测方法 GB/T 43493.1-2023 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第1部分：缺陷分类 BS IEC 63068-3:2020 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷无损识别标准光致发光缺陷测试方法 IEC 63068-3:2020 半导体器件.功率器件用碳化硅同质外延片中缺陷的无损识别标准.第3部分:用光致发光法检测缺陷的试验方法 BS IEC 63068-2:2019 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷无损识别标准 光学检测缺陷测试方法

推荐

【宇创屹鑫压力变送器冠名】169项拟立项国标征求意见 多项与仪器分析方法相关

多元素含量测定 激光剥蚀—电感耦合等离子体质谱法制订2021-12-078半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第2部分：缺陷的光学检测方法制订2021-12-079半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第3部分：缺陷的光致发光检测方法制订2021-12-0710饲料中新甲基橙皮苷二氢查耳酮的测定 高效液相色谱法制订2021-12-0711饲料中泰拉霉素的测定...

169项国家标准制修订公示

64半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据  第2部分：缺陷的光学检测方法制订65饲料用酶制剂通则制订66水产配合饲料　第9部分：大口黑鲈配合饲料制订67高纯硼酸锂制订68半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据  第3部分：缺陷的光致发光检测方法制订69锆及锆合金焊管制订70运载火箭和航天器图像通信规范制订71轨道交通车辆结构用铝合金挤压型材修订72饲料中新甲基橙皮苷二氢查耳酮的测定...

GB/T 43493.3-2023系列标准

GB/T 43493.1-2023 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第1部分：缺陷分类 GB/T 43493.2-2023 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第2部分：缺陷的光学检测方法 GB/T 43493.3-2023 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第3部分：缺陷的光致发光检测方法


Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证：京ICP证110310号