ASTM F84-99
ASTM F84-99
哪些标准引用了ASTM F84-99
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- 标准号
- ASTM F84-99
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 替代标准
- ASTM F84-02
- 当前最新
- ASTM F84-02
- 引用标准
- ASTM D1193 ASTM E1 ASTM E177 ASTM F42 ASTM F43 ASTM F613
- 1.1 本测试方法 2 涵盖使用直列式四点探针测量硅片的电阻率。硅晶体的电阻率是重要的材料验收要求。该测试方法描述了一种能够对硅晶片的室温电阻率进行实验室间比较的程序。预期的精度取决于晶片的电阻率和晶片的均匀性。已进行循环测试，以确定室温 (23°C) 电阻率在 0.0008 至 2000 V·cm 之间的 p 型晶圆和室温 (23°C) n 型晶圆上的预期...
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