本标准规定了硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法。 本标准适用于硅抛光片表面区在模拟器件氧化工艺中诱生或增强的晶体缺陷的检测。
GB/T 4058-1995由国家质检总局 CN-GB 发布于 1995-04-18,并于 1995-12-01 实施,于 2010-06-01 废止。
GB/T 4058-1995 在中国标准分类中归属于: H26 金属无损检验方法,在国际标准分类中归属于: 77.040.30 金属材料化学分析。
GB/T 4058-1995 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法 于 2009-10-30 变更为 GB/T 4058-2009 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法。
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