DIN 50452-2-1991
半导体工艺材料的检验.液体中颗粒分析的试验方法.第2部分:用光学粒子计数器对颗粒的测定

Testing of materials for semiconductor technology; test method for particle analysis in liquids; determination of particles with optical particle counters


 

 

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标准号
DIN 50452-2-1991
发布日期
1991年03月
实施日期
废止日期
2009-10
中国标准分类号
H82
国际标准分类号
29.045
发布单位
DE-DIN
代替标准
DIN 50452-2-2009
适用范围
The standard defines the test method for the determination of the concentration of particles in liquids with optical particle counters.

DIN 50452-2-1991系列标准


DIN 50452-2-1991 中可能用到的仪器设备





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