DIN 50452-2-1991
半导体工艺材料的检验.液体中颗粒分析的试验方法.第2部分:用光学粒子计数器对颗粒的测定

Testing of materials for semiconductor technology; test method for particle analysis in liquids; determination of particles with optical particle counters

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标准号
DIN 50452-2-1991
发布日期
1991年03月
实施日期
废止日期
2009-10
中国标准分类号
H82
国际标准分类号
29.045
发布单位
DE-DIN
代替标准
DIN 50452-2-2009
适用范围
The standard defines the test method for the determination of the concentration of particles in liquids with optical particle counters.

DIN 50452-2-1991系列标准

DIN 50452-1-1995 半导体工艺用材料的检验.液体中粒子分析的试验方法.第1部分:粒子的显微镜测定 DIN 50452-3-1995 半导体工艺材料的检验.液体中颗粒分析的试验方法.第3部分:光学粒子计数器校正

DIN 50452-2-1991 中可能用到的仪器设备

颗粒计数器


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