DIN 50452-2-1991
半导体工艺材料的检验.液体中颗粒分析的试验方法.第2部分:用光学粒子计数器对颗粒的测定已作废

Testing of materials for semiconductor technology; test method for particle analysis in liquids; determination of particles with optical particle counters

DIN 50452-2-1991 发布历史

The standard defines the test method for the determination of the concentration of particles in liquids with optical particle counters.

DIN 50452-2-1991由德国标准化学会 DE-DIN 发布于 1991-03，于 2009-10 废止。

DIN 50452-2-1991 在中国标准分类中归属于: H82 元素半导体材料，在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。

DIN 50452-2-1991的历代版本如下：

• 1991年03月 DIN 50452-2-1991 半导体工艺材料的检验.液体中颗粒分析的试验方法.第2部分:用光学粒子计数器对颗粒的测定
• 2009年10月 DIN 50452-2-2009 半导体技术用材料的试验.液体中粒子分析的试验方法.第2部分:利用光学粒子计数器测定粒子

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标准号

DIN 50452-2-1991

发布日期

1991年03月

实施日期

废止日期

2009-10

中国标准分类号

H82

国际标准分类号

29.045

发布单位

DE-DIN

代替标准

DIN 50452-2-2009

适用范围

The standard defines the test method for the determination of the concentration of particles in liquids with optical particle counters.

DIN 50452-2-1991系列标准

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