DIN 50455-1-1991
半导体工艺材料的检验.表示光致抗蚀剂特性的方法.第1部分:用光学测量法对涂层厚度的测定已作废

Testing of materials for semiconductor technology; methods for characterizing photoresists; determination of coating thickness with optical methods

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标准号

DIN 50455-1-1991

发布日期

1991年06月

实施日期

废止日期

2009-10

中国标准分类号

H82

国际标准分类号

29.045

发布单位

DE-DIN

代替标准

DIN 50455-1-2009

适用范围

The standard defines a method which allows the characterization of photoresists by determining the coating thickness.

DIN 50455-1-1991系列标准