GB/T 1558-1997
硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法已作废

Test method for substitutional atomic carbon content of silicon by infrared absorption

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标准号

GB/T 1558-1997

发布日期

1997年12月22日

实施日期

1998年08月01日

废止日期

2010-06-01

中国标准分类号

H21

国际标准分类号

29.045

发布单位

CN-GB

代替标准

GB/T 1558-2009

适用范围

本标准规定了硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法。 本标准适用于载流子浓度小于5×10¹⁶cm^-3、室温电阻率大于0.1Ω·cm的硅单晶中代位碳原子浓度的测定。由于碳也可能存在于间隙位置，因而本方法不能测定总碳浓度。 本标准也适用于硅多晶中代位碳原子浓度的测定，其晶粒界间区的碳同样不能测定。 本标准测量碳原子浓度的有效范围为：室温下从硅中代位碳原子浓度1×10¹⁶at·cm^-3（200PPba）到碳原子的最大溶解度，77K时下限降到5×10¹⁵at·cm（100PPba）。

GB/T 1558-1997系列标准

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