本标准规定了硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法。 本标准适用于载流子浓度小于5×10cm、室温电阻率大于0.1Ω·cm的硅单晶中代位碳原子浓度的测定。由于碳也可能存在于间隙位置,因而本方法不能测定总碳浓度。 本标准也适用于硅多晶中代位碳原子浓度的测定,其晶粒界间区的碳同样不能测定。 本标准测量碳原子浓度的有效范围为:室温下从硅中代位碳原子浓度1×10at·cm(200PPba)到碳原子的最大溶解度,77K时下限降到5×10at·cm(100PPba)。
GB/T 1558-1997由国家质检总局 CN-GB 发布于 1997-12-22,并于 1998-08-01 实施,于 2010-06-01 废止。
GB/T 1558-1997 在中国标准分类中归属于: H21 金属物理性能试验方法,在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。
GB/T 1558-1997 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法 于 2009-10-30 变更为 GB/T 1558-2009 硅中代位碳原子含量.红外吸收测量方法。
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