DIN 50454-1:2000
半导体工艺材料的检验.Ⅲ-Ⅴ化合物单晶体错位的测定.第1部分:砷化镓

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of dislocations in monocrystals of III-V-compound semi-conductors - Part 1: Gallium arsenide

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标准号

DIN 50454-1:2000

发布

2000年

发布单位

德国标准化学会

当前最新

DIN 50454-1:2000

 

 

适用范围

该标准规定了使用结构蚀刻和确定在（111）-Ga和（100）晶面取向的单晶、条形砷化镓样品中位错的方法，这些样品具有抛光、抛光蚀刻或锯切表面。表面的密度和这些位错的局部分布。#,,#

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