GB/T 19921-2005
硅抛光片表面颗粒测试方法

Test method of particles on silicon wafer surfaces

GBT19921-2005, GB19921-2005

被代替

GB/T 19921-2005 发布历史

GB/T 19921-2005由国家质检总局 CN-GB 发布于 2005-09-19，并于 2006-04-01 实施，于 2019-07-01 废止。

GB/T 19921-2005 在中国标准分类中归属于: H81 半金属，在国际标准分类中归属于: 77.040.01 金属材料试验综合。

GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法的最新版本是哪一版？

最新版本是 GB/T 19921-2018 。

GB/T 19921-2005 发布之时，引用了标准

• ASTM F1620-96 使用单分散聚苯乙烯乳胶球沉积在抛光或外延片表面的方法校准表面扫描检验系统的标准规范
• ASTM F1621-96 测定表面扫描检验系统(SSIS)的定位精度能力的标准规程

GB/T 19921-2005的历代版本如下：

• 2018年 GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法
• 2005年 GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法

本标准规定了应用扫描表面检查系统(SSIS)对硅抛光片表面颗粒进行测试、计数和报告的程序。 本标准适用于硅抛光片，也可适用于硅外延片或其他镜面抛光片（如化合物抛光片）。 本标准也可适用于观测硅抛光片表面的划痕、橘皮、凹坑、波纹等缺陷，但这些缺陷的检测、分类依赖于设备的功能，并与检测时的初始设置有关。 注：本标准涉及的方法通常选用波长(48~6 33)nm的激光光源，最常用的是488nm的氩离子激光器；目前可测量的最小值颗粒直径为0.06μm或更小些。

标准号

GB/T 19921-2005

别名

GBT19921-2005
GB19921-2005

发布

2005年

发布单位

国家质检总局

替代标准

GB/T 19921-2018

当前最新

GB/T 19921-2018

 

 

引用标准

ASTM F1620-96 ASTM F1621-96 SEMI M1-0302

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