ISO 18114:2003
表面化学分析.次级离子质谱法.测定离子注入标样中的相对灵敏度系数
Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials
ISO 18114:2003 发布历史
ISO 18114:2003由国际标准化组织 IX-ISO 发布于 2003-04。
ISO 18114:2003 在中国标准分类中归属于: G04 基础标准与通用方法，在国际标准分类中归属于: 71.040.40 化学分析。
本标准有等同采用的 中文版 GB/T 25186-2010 表面化学分析.二次离子质谱.由离子注入参考物质确定相对灵敏度因子
ISO 18114:2003 发布之时，引用了标准
- ISO 18115 表面化学分析.词汇.修改件2*， 2007-12-01 更新
* 在 ISO 18114:2003 发布之后有更新，请注意新发布标准的变化。
ISO 18114:2003的历代版本如下：
- 2021年 ISO 18114:2021 表面化学分析. 次级离子质谱法. 测定离子注入标样中的相对灵敏度系数
- 2003年 ISO 18114:2003 表面化学分析.次级离子质谱法.测定离子注入标样中的相对灵敏度系数
本国际标准规定了从离子注入参考材料中确定二次离子质谱（SIMS）相对灵敏度因子（RSF）的方法。 该方法适用于基体化学成分均匀、注入物质峰值浓度不超过1个原子百分比的样品。
- 标准号
- ISO 18114:2003
- 发布
- 2003年
- 中文版
- GB/T 25186-2010 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 替代标准
- ISO 18114:2021
- 当前最新
- ISO 18114:2021
- 引用标准
- ISO 18115