ISO 18114:2003
表面化学分析.次级离子质谱法.测定离子注入标样中的相对灵敏度系数

Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials


ISO 18114:2003

标准号
ISO 18114:2003
发布
2003年
中文版
GB/T 25186-2010 (等同采用的中文版本)
发布单位
国际标准化组织
替代标准
ISO 18114:2021
当前最新
ISO 18114:2021
 
 
引用标准
ISO 18115
本国际标准规定了从离子注入参考材料中确定二次离子质谱(SIMS)相对灵敏度因子(RSF)的方法。 该方法适用于基体化学成分均匀、注入物质峰值浓度不超过1个原子百分比的样品。

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