ASTM F1617-98
用次级离子质谱测定法(SIMS)测定表面钠,铝,钾-硅和EPI衬底的标准试验方法
Standard Test Method for Measuring Surface Sodium, Aluminum, Potassium, and Iron on Silicon and EPI Substrates by Secondary Ion Mass Spectrometry
- 标准号
- ASTM F1617-98
- 发布
- 1998年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM F1617-98(2002)
- 当前最新
- ASTM F1617-98(2002)
- 引用标准
- ASTM E122 ASTM E673
- 1.1 本测试方法涵盖使用二次离子质谱（SIMS）测定镜面抛光的单晶硅和硅外延基板表面的总钠、铝和钾。该测试方法测量每种金属的总量，因为该测试方法独立于金属的化学或电活性。 1.2 本测试方法可用于所有掺杂剂种类和掺杂剂浓度的硅。 1.3 本测试方法专门设计用于位于晶圆表面约 5 nm 范围内的表面金属污染。 1.4 该测试方法对于确定清洁后抛光硅基材的自然...
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