ASTM F576-00
用椭圆对称法测量硅衬底上绝缘体厚度及折射指数的标准试验方法
Standard Test Method for Measurement of Insulator Thickness and Refractive Index on Silicon Substrates by Ellipsometry
哪些标准引用了ASTM F576-00
- 标准号
- ASTM F576-00
- 发布
- 2000年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM F576-01
- 当前最新
- ASTM F576-01
- 引用标准
- ASTM C31/C31M ASTM D5127 ASTM E177 ASTM E284 ASTM F95
- 1.1 本测试方法涵盖通过椭圆光度法测量在硅基板上生长或沉积的绝缘体的厚度和折射率。 1.2 本测试方法使用单色光。 1.3 本测试方法是非破坏性的，可用于测量厚度和折射率。任何基材上不吸收测量波长下的光的任何薄膜的折射率 (1) 对测量波长下的光不透明，以及 (2) 在测量波长下折射率和吸收系数均已知的材料。 1.4 该测试方法的精度会因小于光束光斑尺寸的...