可以用无机溶液如硫酸或干式臭氧烧除法将光阻去除。 5) 此处用干法氧化法将氮化硅去除 6) 离子布植将硼离子 (B+3) 透过SiO2膜注入衬底,形成P型阱 1 离子注入法是利用电场加速杂质离子,将其注入硅衬底中的方法。离子注入法的特点是可以精密地控制扩散法难以得到的低浓度杂质分布。...
在工艺中通常指孔1,即连接铝和硅的孔。44. Control chart:控制图。一种用统计数据描述的可以代表工艺某种性质的曲线图表。45. Correlation:相关性。46. Cp:工艺能力,详见process capability。47. Cpk:工艺能力指数,详见process capability index。48. Cycle time:圆片做完某段工艺或设定工艺段所需要的时间。...
采用反斯托克斯,滤光片用Nortch滤光片。六.请问用激光拉曼仪能测量薄膜的厚度、折射率及应力吗?它能对薄膜进行那些方面的测量呢?1.应该不能测薄膜的厚度、折射率及应力吧;2.现在的共焦显微拉曼可以做膜及不同层膜的,你的问题我觉得用椭偏仪更好; 3.拉曼光谱可以测量应力,厚度好像不行;4.应力可以测,应力有差别的时候拉曼会有微小频移,其他两种没听说过拉曼能测。 ...
采用反斯托克斯,滤光片用Nortch滤光片。六.请问用激光拉曼仪能测量薄膜的厚度、折射率及应力吗?它能对薄膜进行那些方面的测量呢?1.应该不能测薄膜的厚度、折射率及应力吧;2.现在的共焦显微拉曼可以做膜及不同层膜的,你的问题我觉得用椭偏仪更好; 3.拉曼光谱可以测量应力,厚度好像不行;4.应力可以测,应力有差别的时候拉曼会有微小频移,其他两种没听说过拉曼能测。 ...
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