1979年Chapin引入了平面磁控结构。磁控溅射工作原理示意图沉积速率高增长电子运动路径,提高离化率,电离出更多的轰击靶材的离子低温碰幢次数的增加,电子的能量逐渐降低,在能量耗尽以后才落在阳极2.3.2 磁控溅射源装置平面型矩形:应用广泛,尤其适用于大面积平板的连续型镀膜。镀膜均匀性,产品的一致性较好。圆形:只适合于做小型的磁控源,制靶简单,适合科研中应用。...
磁控溅射和离子束溅射的原理和性质01一般而言,“溅射”一词指的是通过离子轰击从固体中提取粒子(原子、离子或分子)。离子被加速朝向靶材,并与靶材原子碰撞。原始离子以及反弹的粒子穿过材料,与其他原子碰撞等等。大多数离子和反弹的原子仍然留在材料内部,但是一定比例的反弹原子通过这个多重碰撞过程散射到表面。这些粒子离开靶材,然后可能移动到基板上并形成薄膜。离子由气体放电输送,放电在靶材前面燃烧。...
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