GB/T 26070-2010
化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法
Characterization of subsurface damage in polished compound semiconductor wafers by reflectance difference spectroscopy method
GBT26070-2010, GB26070-2010
- 标准号
- GB/T 26070-2010
- 别名
- GBT26070-2010
GB26070-2010 - 发布
- 2011年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 26070-2010
- 适用范围
- 1.1 本标准规定了亚-V族化合物半导体单晶抛光片亚表面损伤的测试方法。 1.2 本标准适用于GaAs、InP(GaP、GaSb 可参照进行)等化合物半导体单晶抛光片亚表面损伤的测量。 2 定義