GB/T 26070-2010
化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法

Characterization of subsurface damage in polished compound semiconductor wafers by reflectance difference spectroscopy method

GBT26070-2010, GB26070-2010


GB/T 26070-2010 中,可能用到以下仪器设备

 

氘灯卤钨灯光纤输出光源

氘灯卤钨灯光纤输出光源

海洋光学亚洲公司

 

反射透射光谱测量支架

反射透射光谱测量支架

海洋光学亚洲公司

 

空间光路可调单色光源

空间光路可调单色光源

北京卓立汉光仪器有限公司/ZOLIX

 

光催化专用氙灯光源

光催化专用氙灯光源

北京卓立汉光仪器有限公司/ZOLIX

 

汞灯波长校准光源

汞灯波长校准光源

北京卓立汉光仪器有限公司/ZOLIX

 

精密阻尼隔振光学平台

精密阻尼隔振光学平台

北京卓立汉光仪器有限公司/ZOLIX

 

气浮隔振光学平台

气浮隔振光学平台

北京卓立汉光仪器有限公司/ZOLIX

 

阻尼隔振光学平台

阻尼隔振光学平台

北京卓立汉光仪器有限公司/ZOLIX

 

可调单色光源

可调单色光源

北京卓立汉光仪器有限公司/ZOLIX

 

氙灯光源 500W

氙灯光源 500W

北京卓立汉光仪器有限公司/ZOLIX

 

LED光源 多通道LED

LED光源 多通道LED

北京卓立汉光仪器有限公司/ZOLIX

 

氘灯光源

氘灯光源

北京卓立汉光仪器有限公司/ZOLIX

 

自动进样器

自动进样器

北京浩天晖科贸有限公司

 

冷却循坏水器

冷却循坏水器

北京浩天晖科贸有限公司

 

无油空气压缩机

无油空气压缩机

北京浩天晖科贸有限公司

 

海洋光学校准光源系列-2

海洋光学校准光源系列-2

海洋光学亚洲公司

 

万通EQCM石英晶体微天平模块

万通EQCM石英晶体微天平模块

瑞士万通中国有限公司--实验室分析仪器

 

海洋光学汞氩校准光源HG-1

海洋光学汞氩校准光源HG-1

海洋光学亚洲公司

 

海洋光学脉冲氙灯光源PX-2

海洋光学脉冲氙灯光源PX-2

海洋光学亚洲公司

 

氘卤钨标准能量灯DH-2000-CAL

氘卤钨标准能量灯DH-2000-CAL

海洋光学亚洲公司

 

HL-2000系列卤钨灯光源

HL-2000系列卤钨灯光源

海洋光学亚洲公司

 

海洋光学辐射定标光源HL-2000-CAL

海洋光学辐射定标光源HL-2000-CAL

海洋光学亚洲公司

 

HAYSHI林时计 LA-410UV-3紫外线光源装置

HAYSHI林时计 LA-410UV-3紫外线光源装置

北京携测技术有限公司

 

卓立汉光150W氙灯光源

卓立汉光150W氙灯光源

北京卓立汉光仪器有限公司/ZOLIX

 

如海光电 HL10000-Mini 卤素灯光源

如海光电 HL10000-Mini 卤素灯光源

上海如海光电科技有限公司

 

如海光电 HL10000-P5 卤钨灯光源

如海光电 HL10000-P5 卤钨灯光源

上海如海光电科技有限公司

 

81606A 可调谐激光源,大功率、最低 SSE 和高性价比

81606A 可调谐激光源,大功率、最低 SSE 和高性价比

是德科技(中国)有限公司KEYSIGHT

 

8100xXI 光模块连接器接口(81000NI)

8100xXI 光模块连接器接口(81000NI)

是德科技(中国)有限公司KEYSIGHT

 

均匀可调单色光源Omni-λBright 600

均匀可调单色光源Omni-λBright 600

北京卓立汉光仪器有限公司/ZOLIX

 

TLS2系列可调单色光源

TLS2系列可调单色光源

北京卓立汉光仪器有限公司/ZOLIX

 

光催化氙灯光源 300W催化光源

光催化氙灯光源 300W催化光源

北京卓立汉光仪器有限公司/ZOLIX

 

溴钨灯光源 150W-250W

溴钨灯光源 150W-250W

北京卓立汉光仪器有限公司/ZOLIX

 

EQ-99X LDLS™激光驱动白光光源

EQ-99X LDLS™激光驱动白光光源

北京卓立汉光仪器有限公司/ZOLIX

 

3T analytik 石英晶体微天平qCell

3T analytik 石英晶体微天平qCell

德祥科技有限公司

 

超精准全开放强磁场低温光学研究平台

超精准全开放强磁场低温光学研究平台

QUANTUM量子科学仪器贸易(北京)有限公司

 

如海光电 连续卤钨灯 HL2000-P5

如海光电 连续卤钨灯 HL2000-P5

上海如海光电科技有限公司

 

如海光电 卤钨灯 HL2000-P20

如海光电 卤钨灯 HL2000-P20

上海如海光电科技有限公司

 

DP70 滴点系统

DP70 滴点系统

梅特勒-托利多中国(Mettler-Toledo)

 

DP90 滴点系统

DP90 滴点系统

梅特勒-托利多中国(Mettler-Toledo)

 

 VMS20 Volume meas system 体积与密度测量

VMS20 Volume meas system 体积与密度测量

梅特勒-托利多中国(Mettler-Toledo)

 

Anton Paar THT高温摩擦磨损试验机

Anton Paar THT高温摩擦磨损试验机

安东帕(上海)商贸有限公司

 

全自动热脱附打标仪TDS6000

全自动热脱附打标仪TDS6000

上海磐合科学仪器股份有限公司

 

PREP9000 样品微量制备仪

PREP9000 样品微量制备仪

上海磐合科学仪器股份有限公司

 

英国Markes公司微池热萃取仪(U-CTE)

英国Markes公司微池热萃取仪(U-CTE)

上海磐合科学仪器股份有限公司

 

LUM罗姆 稳定性分析仪 iFuge

LUM罗姆 稳定性分析仪 iFuge

上海人和科学仪器有限公司

 

GB/T 26070-2010

标准号
GB/T 26070-2010
别名
GBT26070-2010
GB26070-2010
发布
2011年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 26070-2010
 
 
1.1 本标准规定了亚-V族化合物半导体单晶抛光片亚表面损伤的测试方法。 1.2 本标准适用于GaAs、InP(GaP、GaSb 可参照进行)等化合物半导体单晶抛光片亚表面损伤的测量。 2 定義

GB/T 26070-2010相似标准


推荐

窦唯发新专辑 然而他吉他手却是位材料科学家

取得主要学术成绩:1)在半导体低维结构光学各向异性研究方面,将反射应用于半导体界面性质研究,揭示了界面原子偏析、界面结构和应变对量子阱光学偏振性质重要影响;基于反射技术, 提出了一种测量量子阱激子各向异性交换分裂方法,并演示了应变对激子精细分裂调控作用;基于RDS技术,建立了半导体衬底材料表面损伤和内应力分布新型表征技术,可用于我国 晶片材料相关高技术企业产品检测。...

半导体专业术语含义

197. wafer flat: 从晶片一面直接切下去,用于表明自由载流子导电类型和晶体表面的晶向,也可用于在处理和雕合过程中排列晶片。198. wafer process chamber(WPC): 对晶片进行工艺腔体。199. well: 阱。200. wet chemical etch: 湿法化学腐蚀。...

干货|红外光谱操作常见问题及注意事项

举个例子,轮胎橡胶制品无法研磨,一般压片法很难制样:  ①普通制样方法得到图透过率,看不到特征吸收;  ②使用全反射方法测全反射红外,不仅需要附件,而且由于橡胶制品是黑色,得到图效果也,即使,放大以后图,吸收峰透过率仍然在98%~100%,而且样品平坦度不够,不成形,不平整就无法做;  ③采用普通压片方法,利用溶剂溶解加研磨混合制样方法,对比了不同几种溶剂,达到了较为满意效果...

奥林巴斯半导体显微镜,独有的MIX照明功能让图像更清晰!

硬盘(左:明场 / 右:DIC) 微分干涉(DIC)用于帮助观察具有细微高度差异样品。该技术非常适合用于检测诸如磁头、硬盘介质、以及抛光晶片等具有很小高度样品。半导体晶圆上集成电路图形(左:暗场 / 右:MIX(明场 + 暗场)暗场是检测标本上细微划痕或缺陷以及晶片等镜面样品理想工具。MIX照明可让使用者即可观察图形也可观察色彩。...


GB/T 26070-2010 中可能用到的仪器设备





Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号