电子级磷酸, 您可以免费下载预览页
电子级磷酸作为大规模集成电路(IC)制作过程中关键性的基础化工原料之一,主要用于电子元件的湿法清洗与湿法蚀刻。目前,电子级磷酸的加工制备技术主要分为热法和湿法制备两类,其中,热法制备是通过热处理过程燃烧磷矿使其产生高纯黄磷单质,然后氧化、水化制取磷酸;而湿法制备则采用无机酸处理磷矿石制备磷酸,后续再利用提纯净化的方法控制磷酸内各组分杂质含量生产出符合标准的电子级磷酸。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved 京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号