GB/T 28275-2012
硅基MEMS制造技术.氢氧化钾腐蚀工艺规范
Silicon-based MEMS fabrication technology.Specification for KOH etch process
GB/T 28275-2012 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- GB/T 28275-2012
- 发布日期
- 2012年05月11日
- 实施日期
- 2012年12月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- L55
- 国际标准分类号
- 31.200
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB/T 26111-2010 GB/T 1031-2009 GB 50073-2001
- 适用范围
- 本标准规定了采用氢氧化钾腐蚀工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求。 本标准适用于氢氧化钾腐蚀工艺和管理。
GB/T 28275-2012系列标准
GB/T 28275-2012 中可能用到的仪器设备
氢氧化钾 测试方法
BE-NBN
NBN T 03-188-1980 工业用氢氧化钾，氯化物的测定．汞液滴定法
NBN T 03-189-1980 工业用氢氧化钾，硫酸盐的测定．硫酸钡重力测定法
NBN T 03-198-1980 工业用氢氧化钾，硫磺化合物的测定．还原法和滴定法
NBN T 03-192-1980 工业用氢氧化钾，二氧化硅含量的测定．被还原的钨钼合金光度测定法
NBN T 03-190-1980 工业用氢氧化钾，铁含量的测定．1,10菲洛啉光度测定法
NBN T 03-191-1980 工业氢氧化钾．二氧化硅含量的测定．还原硅钡酸盐光度法
NBN T 03-186-1980 工业用氢氧化钾，化验方法
NBN T 03-193-1980 工业用氢氧化钾，钙含量的测定．乙二胺四乙酸（二钠盐）
NBN T 03-195-1980 工业用氢氧化钾，取样．试样．为实现某些测定准备主溶液
NBN T 03-197-1980 工业用氢氧化钾，氯化物含量的测定．光度测定法
NBN T 03-199-1980 工业用氢氧化钾，钙和镁含量的测定．火焰原子吸收法
NBN T 03-196-1980 工业用氢氧化钾，二氧化碳含量的测定．滴定法
NBN T 03-187-1980 工业用氢氧化钾，碳酸盐的测定．气体容积法
NBN T 03-194-1980 工业用氢氧化钾，钠含量的测定．火焰发射分光光度分析法
FR-AFNOR
NF V03-950-2014 油料种子残渣. 氢氧化钾溶液中可溶性蛋白质的测定
NF T42-013-2012 天然浓缩乳胶.氢氧化钾(KOH)值测定
NF T20-376-1969 氢氧化钾的化学分析.钾含量的重量测定
NF T20-372-1969 氢氧化钾的化学分析.钾含量的测定.(火焰光度法)
NF T20-379-1969 氢氧化钾的化学分析.钾含量的容量测定
NF T20-388-1977 工业用氢氧化钾.钠含量的测定.醋酸铀和醋酸镁重量法
NF T20-377-1977 工业用氢氧化钾.钠含量的测定.火焰发射分光光度法
NF T20-375-1977 工业用氢氧化钾.氯化物含量的测定.分光光度法
NF T20-374-1977 工业用氢氧化钾.氯化物含量的测定.汞液滴定法
NF T20-385-1977 工业用氢氧化钾.钙含量的测定.乙二胺四乙酸(磷酸氢二钠)综合测定法
NF T20-373-1977 工业用氢氧化钾.铁含量的测定.1.10 - 菲绕啉分光光度法
NF T20-386-1977 工业用氢氧化钾.钙和镁含量的测定.火焰原子吸收分光光度法
NF T20-381-1977 工业用氢氧化钾.碳酸盐含量的测定.气体容量测定法
NF T20-382-1977 工业用氢氧化钾.硫酸盐含量的测定.硫酸钡的重量法
NF T20-384-1977 工业用氢氧化钾.二氧化硅含量的测定.喹啉硅钼酸盐沉淀重量法
NF T20-383-1977 工业用氢氧化钾.二氧化硅含量的测定.还原钼硅酸盐分光光度法
NF T20-378-1977 工业用氢氧化钾.二氧化碳含量的测定.滴定法
NF T20-387-1977 工业用氢氧化钾.硫化物含量的测定.还原法和滴定法
NF T20-380-1977 工业用氢氧化钾.化验法
NF X43-268-2013 工作场所空气.氢氧化锂、氢氧化钠、氢氧化钾和氢氧化钙的测定.通过抑制离子色谱对相应的阳离子的测量方法
IX-ISO
ISO 990:1973 工业氢氧化钾.测定方法
ISO 994:1973 工业氢氧化钾铁含量的测定1,10二氮杂菲光度法
ISO 2466:1973 工业氢氧化钾——采样——测试样本——用于进行某些测定的主溶液的制备
ISO 2900:1973 工业氢氧化钾.二氧化碳含量的测定.滴定法
ISO 1550:1973 工业氢氧化钾钠含量的测定火焰发射分光光度法
ISO 992:1975 工业氢氧化钾氯化物含量的测定汞量法
ISO 3177:1975 工业氢氧化钾氯化物含量的测定光度法
ISO 3194:1975 工业氢氧化钾.硫化物的测定.还原滴定法
ISO 995:1975 工业氢氧化钾.二氧化硅含量的测定.还原硅钼酸盐光度法
ISO 996-1976 工业氢氧化钾.二氧化硅含量的测定.喹啉钼硅酸盐沉淀重量分析法
ISO 993-1976 工业氢氧化钾硫酸盐含量的测定硫酸钡重量法
ISO 997:1976 工业氢氧化钾钙含量的测定EDTA（二钠盐）络合滴定法
ISO 991-1976 工业氢氧化钾.碳酸盐含量的测定.气体容量法
ISO 3698:1976 工业氢氧化钾.钙和镁含量的测定.火焰原子吸收法
ISO 127-1995/Amd 1-2006 天然浓缩胶乳橡胶.氢氧化钾值的测定.修改件1:精度数据
ISO 127:1995/Amd 1:2006 天然浓缩胶乳橡胶.氢氧化钾值的测定.修改件1:精度数据
ISO 17091:2013 工作场所空气和空气；氢氧化锂、氢氧化钠、氢氧化钾和氢氧化钙的测定——抑制离子色谱法测定相应阳离子的方法
ISO 14244:2014 油籽粉；氢氧化钾溶液中可溶性蛋白质的测定
ISO 2466-1973 工业用氢氧化钾 取样 试样 供某些测定用的主溶液的配制
ISO 14244-2014 油籽粉.氢氧化钾溶液中可溶性蛋白质的测定
ISO 127-1984 天然橡胶胶乳.氢氧化钾值的测定
ISO 127-1995 浓缩天然橡胶胶乳 氢氧化钾值的测定
ISO 127 AMD 1-2006 浓缩天然橡胶胶乳.氢氧化钾值的测定.修改件1:精确数据
ISO 127-2012 浓缩天然橡胶胶乳.氢氧化钾值的测定
ISO 127-2012 浓缩天然橡胶胶乳.氢氧化钾值的测定
ISO 990-1973 工业用氢氧化钾 试验方法
ISO 994-1973 工业用氢氧化钾.铁含量的测定.1,10-菲罗啉光度法
ISO 2900-1973 工业用氢氧化钾 二氧化碳含量的测定 滴定法
ISO 1550-1973 工业用氢氧化钾 钠含量的测定 火焰发射分光光度法
ISO 992-1975 工业用氢氧化钾 氯化物含量的测定 汞量法
ISO 3177-1975 工业用氢氧化钾.氯化物量的测定.光度法
ISO 3194-1975 工业用氢氧化钾.硫化合物量的测定.还原和滴定法
ISO 995-1975 工业用氢氧化钾.二氧化硅含量的测定.还原硅钼酸盐光度法
ISO 997-1976 工业用氢氧化钾.钙含量的测定.乙二胺四乙酸(EDTA)(二钠盐)络合滴定法
ISO 3698-1976 工业用氢氧化钾.钙和镁含量的测定.火焰原子吸收法
ISO 17091-2013 工作场所空气. 氢氧化锂, 氢氧化钠, 氢氧化钾以及氢氧化钙的测定. 通过抑制型离子色谱法测定相应阳离子的方法
TR-TSE
TS 335-1966 乳胶氢氧化钾数量的测定
TS 993-1971 工业用氢氧化钠和氢氧化钾．硫酸含量测定（硫酸钡重量分析法）
TS 992-1971 工业用氢氧化钠和氢氧化钾．含氯量测定．福尔哈德容积法
TS 995-1971 工业用氢氧化钠和氢氧化钾．钙的测定．络合滴定法
TS 1144-1973 工业用氢氧化钠和氢氧化钾． 表示为碳酸纳或碳酸钾气体的二氧化碳含量测定．容积法
TS 1145-1973 工业用氢氧化钠和氢氧化钾． 通过喹啉．硅钼化合物沉降用重量分析法对含硅量的测定
TS 2113-1975 工业用氢氧化钾．含氯量的测定．光度测定法
TS 2114-1975 工业用氢氧化钾．对甲基橙酸度的测定
TS 2072-1975 工业用氢氧化钾．二氧化碳含量的测定．滴定法
TS 2188-1976 工业氢氧化钾．氯含量的测定．汞液滴定法
TS 2931-1978 工业用氢氧化钾．钙和镁含量的测定．火焰原子吸收法
TS 994-1981 工业用氢氧化钠和氢氧化钾．含铁量测定 1，10.菲罗啉光度法
US-ASTM
ASTM E291-1996 苛性钠和苛性钾(氢氧化钠和氢氧化钾)的化学分析试验方法
ASTM E1787-96 通过离子色谱法测定苛性钠和苛性钾（氢氧化钠和氢氧化钾）阴离子的标准测试方法
ASTM E538-98 苛性钠（氢氧化钠）和苛性钾（氢氧化钾）中汞的标准试验方法
ASTM F1404-92(1999) 用熔融氢氧化钾（KOH）蚀刻技术测定砷化镓晶体完整性的试验方法
ASTM E291-2001 苛性钠和苛性钾(氢氧化钠和氢氧化钾)的化学分析试验方法
ASTM E291-96 苛性钠和苛性钾（氢氧化钠和氢氧化钾）化学分析的标准试验方法
ASTM E291-01 苛性钠和苛性钾（氢氧化钠和氢氧化钾）化学分析的标准试验方法
ASTM E1787-02 通过离子色谱法测定苛性钠和苛性钾（氢氧化钠和氢氧化钾）阴离子的标准测试方法
ASTM E538-98(2003)e1 苛性钠（氢氧化钠）和苛性钾（氢氧化钾）中汞的标准试验方法
ASTM E291-04 苛性钠和苛性钾（氢氧化钠和氢氧化钾）化学分析的标准试验方法
ASTM E1787-08 通过离子色谱法测定苛性钠和苛性钾（氢氧化钠和氢氧化钾）阴离子的标准测试方法
ASTM E538-98(2008) 苛性钠（氢氧化钠）和苛性钾（氢氧化钾）中汞的标准试验方法
ASTM E291-09 苛性钠和苛性钾（氢氧化钠和氢氧化钾）化学分析的标准试验方法
ASTM E1787-2016 采用离子色谱法测定烧碱和烧碱中的阴离子 (氢氧化钠和氢氧化钾) 的标准试验方法
ASTM E1787-16 通过离子色谱法测定苛性钠和苛性钾（氢氧化钠和氢氧化钾）阴离子的标准测试方法
ASTM E538-17 苛性钠（氢氧化钠）和苛性钾（氢氧化钾）中汞的标准试验方法
ASTM E538-17a 苛性钠（氢氧化钠）和苛性钾（氢氧化钾）中汞的标准试验方法
ASTM E291-18 苛性钠和苛性钾（氢氧化钠和氢氧化钾）化学分析的标准试验方法
ASTM E1787-1996 离子色谱法测定苛性钠和苛性碱(氢氧化钠和氢氧化钾)中阴离子的标准试验方法
ASTM E538-1998(2008) 苛性碱(氢氧化钠)和苛性钾(氢氧化钾)中汞的标准试验方法
ASTM E1787-2002 离子色谱法测定苛性钠和苛性碱(氢氧化钠和氢氧化钾)中阴离子的标准试验方法
ASTM E291-2004 苛性钠和苛性钾(氢氧化钠和氢氧化钾)的化学分析的标准试验方法
ASTM E1787-2008 离子色谱法测定苛性钠和苛性碱(氢氧化钠和氢氧化钾)中阴离子的标准试验方法
ASTM E291-2009 苛性钠和苛性钾(氢氧化钠和氢氧化钾)的化学分析的标准试验方法
ASTM F1404-1992(1999) 用熔融氢氧化钾腐蚀技术测试砷化镓结晶完整性的试验方法
ASTM F1404-1992(2007) 用熔融氢氧化钾腐蚀技术测试砷化镓结晶完整性的标准试验方法
YU-JUS
JUS H.G8.511-1991 试剂．氢氧化钾．磷酸盐含量的测定．比色法
JUS H.G8.518-1991 试剂．氢氧化钾．钠含量的测定．火焰发射分光光度法
JUS H.G8.512-1991 试剂．氢氧化钾．硅酸盐含量的测定．比色法
JUS H.G8.509-1991 试剂．氢氧化钾．氢氧化钾和碳酸盐含量的测定．体积法
JUS H.G8.513-1991 试剂．氢氧化钾．硫酸盐含量的测定．比浊法
JUS H.G8.515-1991 试剂．氢氧化钾．铝含量的测定．比色法
JUS H.G8.510-1991 试剂．氢氧化钾．氯化物含量的测定．比浊法
JUS H.G8.514-1991 试剂．氢氧化钾．总氮含量的测定．比色法