Standard Test Method for Size-Differentiated Counting of Particles and Fibers Released from Cleanroom Wipers Using Optical and Scanning Electron Microscopy
该测试方法可以对浸入清洁溶液中并施加适度机械应力的擦拭器释放的颗粒和纤维进行准确且可重复的计数。如果执行正确,这种计数测试方法足够灵敏,可以量化非常低水平的总颗粒和纤维负荷。结果准确且不受伪影或粒径限制的影响。该技术的另一个优点是它可以对单个颗粒进行形态学和 X 射线分析。1.1 该测试方法涵盖测试洁净室和其他受控环境中使用的所有擦拭器的与颗粒清洁度相关的特...