ASTM E2090-12
利用光电子显微镜和扫描电子显微镜对清洁室擦刷工具释放粒子和纤维的尺寸差异计数的标准试验方法
Standard Test Method for Size-Differentiated Counting of Particles and Fibers Released from Cleanroom Wipers Using Optical and Scanning Electron Microscopy
ASTM E2090-12 发布历史
ASTM E2090-12由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 2012。
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ASTM E2090-12 利用光电子显微镜和扫描电子显微镜对清洁室擦刷工具释放粒子和纤维的尺寸差异计数的标准试验方法的最新版本是哪一版？
最新版本是 ASTM E2090-12(2020) 。
ASTM E2090-12 发布之时，引用了标准
- ASTM D1193 试剂水(联邦试验方法No.7916)
- ASTM F25 为电子和类似应用而设计的洁净室和其他粉尘控制区域中空气中微粒污染的测定和计数的标准试验方法
- ASTM F312 膜滤器上航空流体中颗粒微观大小的测定及计数
- ISO 14644-1 洁净室和相关受控环境 第1部分：按颗粒浓度对空气洁净度进行分类（包括红线版本）
- ISO 14644-2 洁净室和相关受控环境 第2部分：通过颗粒浓度进行监测 以提供与空气洁净度相关的洁净室性能证据（包括红线版本）
ASTM E2090-12的历代版本如下：
- 2020年 ASTM E2090-12(2020) 使用光学和扫描电子显微镜从洁净室刮水器释放的颗粒和纤维的尺寸分化计数的标准测试方法
- 2012年 ASTM E2090-12 利用光电子显微镜和扫描电子显微镜对清洁室擦刷工具释放粒子和纤维的尺寸差异计数的标准试验方法
- 2006年 ASTM E2090-06 使用光学和扫描电子显微镜从洁净室刮水器释放的颗粒和纤维的尺寸分化计数的标准测试方法
- 2000年 ASTM E2090-00 利用光电子显微镜和扫描电子显微镜对清洁室擦刷工具释放粒子和纤维的尺寸差异计数的标准试验方法
该测试方法可以对浸入清洁溶液中并施加适度机械应力的擦拭器释放的颗粒和纤维进行准确且可重复的计数。如果执行正确，这种计数测试方法足够灵敏，可以量化非常低水平的总颗粒和纤维负荷。结果准确且不受伪影或粒径限制的影响。该技术的另一个优点是它可以对单个颗粒进行形态学和 X 射线分析。
1.1 该测试方法涵盖测试洁净室和其他受控环境中使用的所有擦拭器的与颗粒清洁度相关的特性。
1.2 该测试方法包括使用基于计算机的图像分析和计数硬件和软件来对密集颗粒过滤器进行计数（见 7.7-7.9）。虽然并非绝对必要使用该设备，但强烈建议提高计数的准确性、速度和一致性。
1.3 以 SI 单位表示的数值应被视为标准。
1.4 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。
- 标准号
- ASTM E2090-12
- 发布
- 2012年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM E2090-12(2020)
- 当前最新
- ASTM E2090-12(2020)
- 引用标准
- ASTM D1193 ASTM F25 ASTM F312 ISO 14644-1 ISO 14644-2